Бусад бүрэх технологиудтай харьцуулахад магнетрон цацалтын бүрхүүл нь дараах онцлог шинжүүдээр тодорхойлогддог: ажлын параметрүүд нь бүрэх хурд болон зузаан (бүрхэгдсэн хэсгийн төлөв байдал)-ын өргөн динамик тохируулгын хүрээтэй бөгөөд бүрэх жигд байдлыг хангахын тулд магнетрон байны геометрт дизайны хязгаарлалт байхгүй; хальсан давхаргад дуслын хэсгүүдийн асуудал байхгүй; бараг бүх металл, хайлш, керамикийг бай материал болгон хийж болно; мөн бай материалыг DC эсвэл RF магнетрон цацалтаар гаргаж авах боломжтой бөгөөд энэ нь нарийн харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлшийн бүрхүүл, мөн хийн оролцоотой металлын урвалд ордог хальс үүсгэх боломжтой. DC эсвэл RF цацалтын тусламжтайгаар нимгэн хальсны олон янз байдал, өндөр нарийвчлалын шаардлагыг хангахын тулд нарийн ба тогтмол харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлшийн бүрхүүл, мөн хийн оролцоотой металлын урвалд ордог хальс үүсгэх боломжтой. Магнетрон цацалтын бүрхүүлийн ердийн процессын параметрүүд нь: ажлын даралт 0.1Па; зорилтот хүчдэл 300~700В; зорилтот чадлын нягтрал 1~36Вт/см².
Магнетрон цацалтын өвөрмөц онцлогууд нь:
(1) Өндөр тунадасжилтын хурд. Магнетрон электрод ашигласны улмаас маш их хэмжээний байны бөмбөгдөлтийн ионы гүйдэл авах боломжтой тул байны гадаргуу дээрх цацалтын хурд болон суурь гадаргуу дээрх хальсны тунадасжилтын хурд хоёулаа маш өндөр байдаг.
(2) Өндөр эрчим хүчний үр ашиг. Бага энергитэй электрон ба хийн атомуудын мөргөлдөх магадлал өндөр тул хийн диссоциацийн хурд ихээхэн нэмэгддэг. Үүний дагуу ялгарах хийн (эсвэл плазмын) импеданс ихээхэн буурдаг. Тиймээс тогтмол гүйдлийн магнетрон цацалтыг тогтмол дипол цацалттай харьцуулахад ажлын даралтыг 1~10Па-аас 10-210-1Па болгон бууруулсан ч цацалтын хүчдэлийг мянган вольтоос хэдэн зуун вольт болгон бууруулж, цацалтын үр ашиг болон тунадасны хурдыг хэд дахин нэмэгдүүлдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 1