باشقا قاپلاش تېخنىكىلىرى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، ماگنىترون پۈركۈش قاپلىمىسىنىڭ ئالاھىدىلىكى تۆۋەندىكىدەك: خىزمەت پارامېتىرلىرى قاپلاشنىڭ چۆكۈش سۈرئىتى ۋە قېلىنلىقى (قاپلانغان رايوننىڭ ھالىتى) نىڭ چوڭ دىنامىك تەڭشەش دائىرىسىگە ئىگە بولۇپ، قاپلاشنىڭ بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ماگنىترون نىشانىنىڭ گېئومېتىرىيەسىگە ھېچقانداق لايىھە چەكلىمىسى يوق؛ پىلاستىنكا قەۋىتىدە تامچە زەررىچىلىرى مەسىلىسى يوق؛ دېگۈدەك بارلىق مېتاللار، قېتىشمىلار ۋە كېرامىكىلاردىن نىشان ماتېرىياللىرىنى ياسىغىلى بولىدۇ؛ نىشان ماتېرىيالنى DC ياكى RF ماگنىترون پۈركۈش ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرغىلى بولىدۇ، بۇ ئېنىق نىسبەتتىكى ساپ مېتال ياكى قېتىشما قاپلىمىلارنى، شۇنداقلا گاز قاتناشقان مېتال رېئاكتىپ پىلاستىنكىلارنى ھاسىل قىلالايدۇ. DC ياكى RF پۈركۈش ئارقىلىق، نېپىز پىلاستىنكىنىڭ كۆپ خىللىقى ۋە يۇقىرى ئېنىقلىق تەلىپىگە يېتىش ئۈچۈن ئېنىق ۋە مۇقىم نىسبەتتىكى ساپ مېتال ياكى قېتىشما قاپلىمىلارنى، شۇنداقلا گاز قاتناشقان مېتال رېئاكتىپ پىلاستىنكىلارنى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ. ماگنىترون پۈركۈش قاپلىمىسىنىڭ ئادەتتىكى جەريان پارامېتىرلىرى: خىزمەت بېسىمى 0.1Pa؛ نىشان توك بېسىمى 300 ~ 700V؛ نىشان توك زىچلىقى 1 ~ 36W / cm².
ماگنىترون پۈركۈشنىڭ ئۆزگىچە ئالاھىدىلىكلىرى تۆۋەندىكىچە:
(1) يۇقىرى چۆكمە نىسبىتى. ماگنىترون ئېلېكترودلىرى ئىشلىتىلگەنلىكتىن، نىشان بومباردىمان قىلىش ئىئون ئېقىمى ناھايىتى چوڭ بولىدۇ، شۇڭا نىشان يۈزىدىكى پۈركۈش سۈرئىتى ۋە ئاساسىي قەۋەت يۈزىدىكى پىلاستىنكا چۆكمە نىسبىتى ناھايىتى يۇقىرى.
(2) يۇقىرى ئېنېرگىيە ئۈنۈمى. تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئېلېكترونلار بىلەن گاز ئاتوملىرىنىڭ سوقۇلۇش ئېھتىماللىقى يۇقىرى، شۇڭا گازنىڭ ئايرىلىشى نىسبىتى زور دەرىجىدە ئاشىدۇ. شۇنىڭغا ئاساسەن، چىقىرىۋېتىلگەن گازنىڭ (ياكى پلازما) ئىمپېدانسى زور دەرىجىدە تۆۋەنلەيدۇ. شۇڭا، تۇراقلىق توك ماگنىترون پۈركۈش بىلەن تۇراقلىق توك دىپول پۈركۈش سېلىشتۇرمىسىدا، خىزمەت بېسىمى 1 ~ 10Pa دىن 10-210-1Pa غىچە تۆۋەنلىتىلسىمۇ، پۈركۈش توك بېسىمى مىڭلىغان ۋولتتىن يۈزلىگەن ۋولتقىچە تۆۋەنلىتىلىدۇ، پۈركۈش ئۈنۈمى ۋە چۆكۈش نىسبىتى زور دەرىجىدە ئاشىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 12-ئاينىڭ 1-كۈنى