Marka la barbardhigo teknoolojiyada kale ee dahaarka, dahaarka dahaarka magnetron waxaa lagu gartaa sifooyinka soo socda: xuduudaha shaqada waxay leeyihiin kala duwanaansho firfircoon oo ballaaran oo ah xawaaraha dhigista dahaarka iyo dhumucda (xaaladda aagga dahaarka leh) si fudud ayaa loo xakameyn karaa, mana jirto xaddidaad naqshadeed oo ku saabsan joomatari ee bartilmaameedka magnetron si loo hubiyo isku mid ahaanshaha dahaarka; ma jirto dhibaato ku saabsan walxaha dhibcaha ee lakabka filimka; ku dhawaad dhammaan biraha, birta, iyo dhoobada waxaa laga samayn karaa walxo bartilmaameed ah; walxaha bartilmaameedka ahna waxaa soo saari kara dahaarka magnetron DC ama RF, kaas oo soo saari kara dahaarka birta saafiga ah ama dahaarka leh saamiga saxda ah, iyo sidoo kale filimada falcelinta birta leh ee ka qaybgalka gaaska. Iyada oo loo marayo dahaarka DC ama RF, waxaa suurtagal ah in la soo saaro dahaarka birta saafiga ah ama dahaarka leh saamiga saxda ah iyo kan joogtada ah, iyo sidoo kale filimada falcelinta birta leh ee ka qaybgalka gaaska, si loo daboolo shuruudaha kala duwanaanshaha filimka khafiifka ah iyo saxnaanta sare. Xuduudaha habka caadiga ah ee dahaarka dahaarka magnetron waa: cadaadiska shaqada ee 0.1Pa; danabka bartilmaameedka ah ee 300~700V; cufnaanta awoodda bartilmaameedka ah ee 1~36W/cm².
Astaamaha gaarka ah ee xoqidda magnetron-ka waa:
(1) Heerka kaydinta sare. Iyada oo loo marayo isticmaalka elektroodhada magnetron, waxaa la heli karaa hadda ion-ka bartilmaameedka ah ee aadka u weyn, sidaa darteed heerka qodista sputter-ka ee dusha sare ee bartilmaameedka iyo heerka dhigista filimka ee dusha sare ee substrate-ka labaduba aad bay u sarreeyaan.
(2) Waxtarka sare ee awoodda. Suurtagalnimada isku dhaca ee elektaroonada tamarta yar iyo atamka gaaska ayaa sarreeya, sidaa darteed heerka kala-goynta gaaska ayaa si weyn u kordha. Sidaas darteed, iska-caabbinta gaaska sii daaya (ama plasma) ayaa si weyn hoos ugu dhacday. Sidaa darteed, isku-darka magnetron-ka DC marka la barbar dhigo isku-darka dipole-ka DC, xitaa haddii cadaadiska shaqada laga dhimo 1 ~ 10Pa ilaa 10-210-1Pa danabka ku shubista ayaa sidoo kale laga dhimaa kumanaan volts ilaa boqolaal volts, hufnaanta ku shubista iyo heerka dhigista waxaa kordhiya amarrada baaxadda.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Diseembar-01-2023