Raha ampitahaina amin'ny teknolojia coating hafa, ny coating magnetron sputtering dia miavaka amin'ireto endri-javatra manaraka ireto: ny masontsivana miasa dia manana elanelana lehibe amin'ny hafainganam-pandehan'ny fametrahana coating ary ny hateviny (ny toetry ny faritra voarakotra) dia azo fehezina mora foana, ary tsy misy fetra amin'ny famolavolana ny jeometrika amin'ny lasibatra magnetron mba hahazoana antoka ny fitoviana amin'ny coating; tsy misy olana amin'ny poti-javatra mitete ao amin'ny sosona sarimihetsika; saika ny metaly, firaka ary seramika rehetra dia azo atao fitaovana kendrena; ary ny fitaovana kendrena dia azo vokarina amin'ny alàlan'ny DC na RF magnetron sputtering, izay afaka mamorona coatings metaly na firaka madio miaraka amin'ny tahan'ny marina, ary koa sarimihetsika mihetsika metaly miaraka amin'ny fandraisana anjaran'ny entona. Amin'ny alàlan'ny DC na RF sputtering, dia azo atao ny mamorona coatings metaly na firaka madio miaraka amin'ny tahan'ny marina sy tsy miovaova, ary koa sarimihetsika mihetsika metaly miaraka amin'ny fandraisana anjaran'ny entona, mba hamenoana ny fepetra takian'ny fahasamihafan'ny sarimihetsika manify sy ny fahamarinan-toerana avo lenta. Ny masontsivana mahazatra amin'ny coating magnetron sputtering dia: tsindry miasa 0.1Pa; voltazy kendrena 300 ~ 700V; hakitroky ny herinaratra kendrena 1 ~ 36W / cm².
Ireto avy ireo toetra mampiavaka ny magnetron sputtering:
(1) Hafainganam-pandeha ambony. Noho ny fampiasana elektroda magnetron, dia azo atao ny mahazo courant ion bombardment goavana amin'ny lasibatra, ka samy avo dia avo ny tahan'ny sputter etching eo amin'ny velaran'ny lasibatra sy ny tahan'ny fametrahana sarimihetsika eo amin'ny velaran'ny substrate.
(2) Fahombiazan'ny herinaratra avo lenta. Avo dia avo ny mety hisian'ny fifandonana eo amin'ny elektrôna ambany angovo sy ny atôma entona, ka mitombo be ny tahan'ny fisaraham-bazana entona. Araka izany, mihena be ny fanoherana ny entona mamoaka (na plasma). Noho izany, raha ampitahaina amin'ny fisaraham-bazana dipole DC, na dia mihena avy amin'ny 1~10Pa ka hatramin'ny 10-210-1Pa aza ny tsindry miasa dia mihena ihany koa avy amin'ny an'arivony volts ka hatramin'ny an-jatony volts, mitombo be ny fahombiazan'ny fisaraham-bazana sy ny tahan'ny fametrahana.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 01 Desambra 2023