بالمقارنة مع تقنيات الطلاء الأخرى، يتميز طلاء الترسيب بالرش المغنطروني بالخصائص التالية: نطاق واسع لضبط سرعة الترسيب وسماكة الطبقة (حالة المنطقة المطلية)، وسهولة التحكم في معايير التشغيل، وعدم وجود قيود على تصميم هدف المغنطرون لضمان تجانس الطلاء؛ وعدم وجود مشكلة جزيئات القطرات في طبقة الفيلم؛ وإمكانية استخدام جميع المعادن والسبائك والسيراميك تقريبًا كمواد هدف؛ وإمكانية إنتاج مادة الهدف باستخدام الترسيب بالرش المغنطروني بالتيار المستمر أو الترددات الراديوية، مما يُتيح إنتاج طلاءات معدنية أو سبائكية نقية بنسب دقيقة، بالإضافة إلى أغشية معدنية تفاعلية مع الغاز. ومن خلال الترسيب بالرش بالتيار المستمر أو الترددات الراديوية، يُمكن إنتاج طلاءات معدنية أو سبائكية نقية بنسب دقيقة وثابتة، بالإضافة إلى أغشية معدنية تفاعلية مع الغاز، لتلبية متطلبات تنوع الأغشية الرقيقة والدقة العالية. وتشمل معايير التشغيل النموذجية لطلاء الترسيب بالرش المغنطروني ما يلي: ضغط تشغيل 0.1 باسكال؛ جهد الهدف 300-700 فولت. كثافة الطاقة المستهدفة من 1 إلى 36 واط/سم².
تتمثل الخصائص المحددة لعملية الترسيب بالرش المغناطيسي فيما يلي:
(1) معدل ترسيب عالٍ. بفضل استخدام أقطاب المغنطرون، يمكن الحصول على تيار أيوني كبير جدًا لقصف الهدف، وبالتالي يكون معدل الحفر بالرش على سطح الهدف ومعدل ترسيب الفيلم على سطح الركيزة مرتفعين للغاية.
(2) كفاءة طاقة عالية. يزداد احتمال تصادم الإلكترونات منخفضة الطاقة مع ذرات الغاز، مما يؤدي إلى زيادة كبيرة في معدل تفكك الغاز. ونتيجة لذلك، تنخفض مقاومة غاز التفريغ (أو البلازما) بشكل ملحوظ. لذا، بالمقارنة مع تقنية الترسيب بالرش المغناطيسي للتيار المستمر، فإنه حتى مع انخفاض ضغط التشغيل من 1-10 باسكال إلى 10-210 باسكال، وانخفاض جهد الرش من آلاف الفولتات إلى مئات الفولتات، تزداد كفاءة الرش ومعدل الترسيب بشكل كبير.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 1 ديسمبر 2023