மற்ற பூச்சு தொழில்நுட்பங்களுடன் ஒப்பிடுகையில், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு பின்வரும் அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது: இதன் செயல்பாட்டு அளவுருக்கள் ஒரு பெரிய டைனமிக் சரிசெய்தல் வரம்பைக் கொண்டுள்ளன; பூச்சு படிதல் வேகம் மற்றும் தடிமன் (பூசப்பட்ட பகுதியின் நிலை) ஆகியவற்றை எளிதாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும்; மேலும், பூச்சின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக மேக்னட்ரான் இலக்கின் வடிவவியலில் எந்த வடிவமைப்பு வரம்பும் இல்லை; படல அடுக்கில் துளித் துகள்கள் உருவாகும் பிரச்சனை இல்லை; ஏறக்குறைய அனைத்து உலோகங்கள், உலோகக் கலவைகள் மற்றும் பீங்கான்களை இலக்குப் பொருட்களாக உருவாக்க முடியும்; மேலும், இலக்குப் பொருளை DC அல்லது RF மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் மூலம் உற்பத்தி செய்ய முடியும். இது துல்லியமான விகிதத்தில் தூய உலோகம் அல்லது உலோகக் கலவைப் பூச்சுகளையும், வாயுப் பங்களிப்புடன் கூடிய உலோக வினைபுரியும் படலங்களையும் உருவாக்கும். DC அல்லது RF ஸ்பட்டரிங் மூலம், மெல்லிய படலப் பன்முகத்தன்மை மற்றும் உயர் துல்லியம் ஆகியவற்றின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், துல்லியமான மற்றும் நிலையான விகிதங்களில் தூய உலோகம் அல்லது உலோகக் கலவைப் பூச்சுகளையும், வாயுப் பங்களிப்புடன் கூடிய உலோக வினைபுரியும் படலங்களையும் உருவாக்க முடியும். மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சுக்கான பொதுவான செயல்முறை அளவுருக்கள்: செயல்பாட்டு அழுத்தம் 0.1Pa; இலக்கு மின்னழுத்தம் 300~700V; இலக்கு ஆற்றல் அடர்த்தி 1~36W/cm².
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கின் குறிப்பிட்ட அம்சங்கள் பின்வருமாறு:
(1) அதிகப் படிவு விகிதம். மேக்னட்ரான் மின்முனைகளைப் பயன்படுத்துவதால், மிக அதிக இலக்கு குண்டுவீச்சு அயனி மின்னோட்டத்தைப் பெற முடியும், எனவே இலக்கு மேற்பரப்பில் சிதறல் அரிப்பு விகிதமும், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படலப் படிவு விகிதமும் மிக அதிகமாக உள்ளன.
(2) அதிக ஆற்றல் திறன். குறைந்த ஆற்றல் எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் வாயு அணுக்களின் மோதல் நிகழ்தகவு அதிகமாக இருப்பதால், வாயு சிதைவு விகிதம் பெரிதும் அதிகரிக்கிறது. அதன்படி, வெளியேற்ற வாயுவின் (அல்லது பிளாஸ்மாவின்) மின்மறுப்பு பெரிதும் குறைக்கப்படுகிறது. எனவே, DC டைபோல் ஸ்பட்டரிங்குடன் ஒப்பிடும்போது DC மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கில், வேலை செய்யும் அழுத்தம் 1~10Pa இலிருந்து 10-210-1Pa ஆகக் குறைக்கப்பட்டாலும், ஸ்பட்டரிங் மின்னழுத்தமும் ஆயிரக்கணக்கான வோல்ட்டுகளிலிருந்து நூற்றுக்கணக்கான வோல்ட்டுகளாகக் குறைக்கப்பட்டாலும், ஸ்பட்டரிங் திறன் மற்றும் படிவு விகிதம் பல மடங்கு அதிகரிக்கிறது.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர்-01-2023