Ha ho bapisoa le mahlale a mang a ho koahela, ho koahela ka magnetron ho khetholloa ka likarolo tse latelang: liparamente tse sebetsang li na le lebelo le leholo la phetoho ea ho beha ka magnetron 'me botenya (boemo ba sebaka se koahetsoeng) bo ka laoloa habonolo, 'me ha ho na moeli oa moralo ho geometry ea sepheo sa magnetron ho netefatsa ho tšoana ha seaparo; ha ho na bothata ba likaroloana tsa marotholi lera la filimi; hoo e batlang e le litšepe tsohle, li-alloy le li-ceramic li ka etsoa thepa ea sepheo; 'me thepa ea sepheo e ka hlahisoa ke ho phunya ka magnetron ea DC kapa RF, e ka hlahisang liphahlo tse hloekileng tsa tšepe kapa tsa alloy ka karolelano e nepahetseng, hammoho le lifilimi tse arabelang tsa tšepe tse nang le karolo ea khase. Ka ho phunya ka DC kapa RF, hoa khoneha ho hlahisa liphahlo tse hloekileng tsa tšepe kapa tsa alloy ka karolelano e nepahetseng le e sa fetoheng, hammoho le lifilimi tse arabelang tsa tšepe tse nang le karolo ea khase, ho fihlela litlhoko tsa mefuta e menyenyane ea filimi le ho nepahala ho hoholo. Liparamente tse tloaelehileng tsa ts'ebetso bakeng sa ho koahela ka magnetron ke: khatello ea ho sebetsa ea 0.1Pa; motlakase oa sepheo oa 300~700V; matla a sepheo a 1~36W/cm².
Likarolo tse ikhethang tsa ho sputtering ea magnetron ke:
(1) Sekgahla se phahameng sa ho beoa ha thepa. Ka lebaka la tshebediso ya di-electrode tsa magnetron, ho ka fumanwa motlakase o moholo haholo wa ion o shebilweng, kahoo sekgahla sa ho beoa ha thepa ya sputter hodima bokahodimo ba thepa le sekgahla sa ho beoa ha filimi hodima bokahodimo ba thepa ya scutter ka bobedi di hodimo haholo.
(2) Bokgoni bo phahameng ba matla. Monyetla wa ho thulana ha dielektrone tse nang le matla a tlase le diathomo tsa khase o phahame, kahoo sekgahla sa ho arohana ha khase se eketseha haholo. Ka hona, ho sitiswa ha khase e ntshang (kapa plasma) ho fokotsehile haholo. Ka hona, ho qhalana ha magnetron ya DC ha ho bapiswa le ho qhalana ha dipole tsa DC, leha kgatello ya ho sebetsa e fokotsehile ho tloha ho 1 ~ 10Pa ho isa ho 10-210-1Pa le yona e fokotsehile ho tloha ho diketekete tsa di-volt ho isa ho makgolo a di-volt, bokgoni ba ho qhalana le sekgahla sa ho bewa di eketswa ka ditaelo tsa boholo.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Tshitwe-01-2023