W porównaniu z innymi technologiami powlekania, powłoka napylana magnetronowo charakteryzuje się następującymi cechami: parametry robocze mają duży zakres dynamicznej regulacji prędkości osadzania powłoki i grubości (stan powlekanego obszaru) można łatwo kontrolować i nie ma ograniczeń konstrukcyjnych na geometrię tarczy magnetronowej, aby zapewnić jednorodność powłoki; nie ma problemu cząstek kropel w warstwie filmu; prawie wszystkie metale, stopy i ceramika mogą być wykonane z materiałów docelowych; a materiał docelowy może być wytwarzany przez napylanie magnetronowe DC lub RF, które może generować czyste powłoki metalowe lub stopowe o precyzyjnym stosunku, a także metalowe reaktywne warstwy z udziałem gazu. Poprzez napylanie DC lub RF możliwe jest generowanie czystych powłok metalowych lub stopowych o precyzyjnych i stałych stosunkach, a także metalowych reaktywnych warstw z udziałem gazu, aby spełnić wymagania różnorodności cienkich warstw i wysokiej precyzji. Typowe parametry procesu powlekania napylanego magnetronowo to: ciśnienie robocze 0,1 Pa; napięcie docelowe 300~700 V; docelowa gęstość mocy 1~36W/cm².
Cechy szczególne rozpylania magnetronowego to:
(1) Wysoka szybkość osadzania. Dzięki zastosowaniu elektrod magnetronowych można uzyskać bardzo duży prąd jonów bombardujących tarczę, co przekłada się na bardzo wysoką szybkość trawienia rozpyłowego na powierzchni tarczy i szybkość osadzania warstwy na powierzchni podłoża.
(2) Wysoka wydajność energetyczna. Prawdopodobieństwo zderzeń elektronów o niskiej energii z atomami gazu jest wysokie, co znacznie zwiększa szybkość dysocjacji gazu. W związku z tym impedancja gazu wyładowczego (lub plazmy) ulega znacznemu zmniejszeniu. W związku z tym, w porównaniu z rozpylaniem dipolowym DC, nawet po zmniejszeniu ciśnienia roboczego z 1~10 Pa do 10-210-1 Pa, napięcie rozpylania również spada z tysięcy woltów do setek woltów, a wydajność rozpylania i szybkość osadzania wzrastają o rzędy wielkości.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 01-12-2023