Vergeleken met andere coatingtechnologieën kenmerkt magnetron sputtercoating zich door de volgende eigenschappen: de werkparameters hebben een groot dynamisch instelbereik; de afzettingssnelheid en -dikte (de toestand van het gecoate gebied) kunnen eenvoudig worden geregeld; er zijn geen ontwerpbeperkingen voor de geometrie van het magnetrondoel, wat de uniformiteit van de coating garandeert; er is geen probleem met druppeldeeltjes in de filmlaag; vrijwel alle metalen, legeringen en keramische materialen kunnen als doelmateriaal worden gebruikt; en het doelmateriaal kan worden geproduceerd met DC- of RF-magnetron sputteren, waarmee coatings van zuiver metaal of legering met een precieze verhouding kunnen worden gegenereerd, evenals metaalreactieve films met gascomponent. Door middel van DC- of RF-sputteren is het mogelijk om coatings van zuiver metaal of legering met precieze en constante verhoudingen te produceren, evenals metaalreactieve films met gascomponent, om te voldoen aan de eisen van diversiteit en hoge precisie van dunne films. Typische procesparameters voor magnetron sputtercoating zijn: werkdruk van 0,1 Pa; doelspanning van 300-700 V; doelvermogensdichtheid van 1-36 W/cm².
De specifieke kenmerken van magnetron sputteren zijn:
(1) Hoge afzettingssnelheid. Door het gebruik van magnetronelektroden kan een zeer grote ionenstroom voor de bombardering van het doelwit worden verkregen, waardoor zowel de sputteretssnelheid op het doelwitoppervlak als de filmafzettingssnelheid op het substraatoppervlak zeer hoog zijn.
(2) Hoog rendement. De botsingskans van laagenergetische elektronen en gasatomen is hoog, waardoor de dissociatiesnelheid van het gas sterk toeneemt. Dientengevolge wordt de impedantie van het ontladingsgas (of plasma) sterk verlaagd. Daarom neemt het sputterrendement en de afzettingssnelheid bij DC-magnetron sputteren, vergeleken met DC-dipool sputteren, zelfs als de werkdruk wordt verlaagd van 1-10 Pa naar 10-210-1 Pa en de sputterspanning van duizenden volts naar honderden volts, met een factor van vele malen toe.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 1 december 2023