Башка каптоо технологияларына салыштырмалуу, магнетрондук чачыратуу каптоосу төмөнкү өзгөчөлүктөр менен мүнөздөлөт: жумушчу параметрлердин чоң динамикалык жөнгө салуу диапазону бар, каптоо ылдамдыгы жана калыңдыгы (капталган аймактын абалы) оңой башкарылышы мүмкүн жана каптоонун бирдейлигин камсыз кылуу үчүн магнетрондук бута геометриясына эч кандай дизайн чектөөсү жок; пленка катмарында тамчы бөлүкчөлөрүнүн көйгөйү жок; дээрлик бардык металлдар, эритмелер жана керамика максаттуу материалдарга айландырылышы мүмкүн; жана максаттуу материалды туруктуу же радио жыштыктагы магнетрондук чачыратуу менен өндүрүүгө болот, ал так катышы бар таза металл же эритме каптоолорун, ошондой эле газ катышкан металл реактивдүү пленкаларды түзө алат. Туруктуу же радио жыштыктагы чачыратуу аркылуу жука пленканын ар түрдүүлүгү жана жогорку тактык талаптарын канааттандыруу үчүн так жана туруктуу катышы бар таза металл же эритме каптоолорун, ошондой эле газ катышкан металл реактивдүү пленкаларды түзүүгө болот. Магнетрондук чачыратуу каптоосунун типтүү процесстик параметрлери: жумушчу басымы 0,1Па; максаттуу чыңалуу 300~700В; максаттуу кубаттуулук тыгыздыгы 1~36Вт/см².
Магнетрондук чачыратуунун өзгөчөлүктөрү төмөнкүлөр:
(1) Жогорку чөкмө ылдамдыгы. Магнетрондук электроддорду колдонуунун аркасында абдан чоң бутага бомбалоо иондук тогун алууга болот, ошондуктан бута бетиндеги чачыратма чөкмө ылдамдыгы жана субстрат бетиндеги пленканын чөкмө ылдамдыгы экөө тең абдан жогору.
(2) Жогорку кубаттуулук эффективдүүлүгү. Аз энергиялуу электрондордун жана газ атомдорунун кагылышуу ыктымалдуулугу жогору, ошондуктан газдын диссоциациялануу ылдамдыгы бир топ жогорулайт. Ошого жараша, разряддалган газдын (же плазманын) импедансы бир топ төмөндөйт. Ошондуктан, туруктуу токтун магнетрондук чачырашы туруктуу токтун диполдук чачырашына салыштырмалуу, жумушчу басым 1~10Падан 10-210-1Пага чейин төмөндөсө да, чачыраш чыңалуусу миңдеген вольттон жүздөгөн вольтко чейин төмөндөйт, чачыраштын эффективдүүлүгү жана чөкмө ылдамдыгы бир топ жогорулайт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 1-декабры