ఇతర కోటింగ్ టెక్నాలజీలతో పోలిస్తే, మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ కింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది: దీని వర్కింగ్ పారామీటర్లకు పెద్ద డైనమిక్ అడ్జస్ట్మెంట్ రేంజ్ ఉంటుంది; కోటింగ్ డిపాజిషన్ వేగం మరియు మందాన్ని (కోట్ చేయబడిన ప్రాంతం యొక్క స్థితి) సులభంగా నియంత్రించవచ్చు; మరియు కోటింగ్ యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి మాగ్నెట్రాన్ టార్గెట్ యొక్క జ్యామితిపై ఎటువంటి డిజైన్ పరిమితి లేదు; ఫిల్మ్ పొరలో బిందువుల కణాల సమస్య ఉండదు; దాదాపు అన్ని లోహాలు, మిశ్రమలోహాలు మరియు సిరామిక్లను టార్గెట్ మెటీరియల్స్గా తయారు చేయవచ్చు; మరియు టార్గెట్ మెటీరియల్ను DC లేదా RF మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయవచ్చు, ఇది ఖచ్చితమైన నిష్పత్తిలో స్వచ్ఛమైన లోహం లేదా మిశ్రమలోహ కోటింగ్లను, అలాగే గ్యాస్ భాగస్వామ్యంతో మెటల్ రియాక్టివ్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయగలదు. DC లేదా RF స్పట్టరింగ్ ద్వారా, సన్నని ఫిల్మ్ వైవిధ్యం మరియు అధిక ఖచ్చితత్వం యొక్క అవసరాలను తీర్చడానికి, ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన నిష్పత్తులలో స్వచ్ఛమైన లోహం లేదా మిశ్రమలోహ కోటింగ్లను, అలాగే గ్యాస్ భాగస్వామ్యంతో మెటల్ రియాక్టివ్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయడం సాధ్యమవుతుంది. మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ కోసం సాధారణ ప్రాసెస్ పారామీటర్లు: 0.1Pa వర్కింగ్ ప్రెజర్; 300~700V టార్గెట్ వోల్టేజ్; లక్ష్య శక్తి సాంద్రత 1~36W/cm².
మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క నిర్దిష్ట లక్షణాలు:
(1) అధిక నిక్షేపణ రేటు. మాగ్నెట్రాన్ ఎలక్ట్రోడ్లను ఉపయోగించడం వల్ల, చాలా పెద్ద టార్గెట్ బాంబార్డ్మెంట్ అయాన్ కరెంట్ను పొందవచ్చు, కాబట్టి టార్గెట్ ఉపరితలంపై స్పుటర్ ఎచింగ్ రేటు మరియు సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటు రెండూ చాలా ఎక్కువగా ఉంటాయి.
(2) అధిక శక్తి సామర్థ్యం. తక్కువ-శక్తి ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయు పరమాణువుల తాకిడి సంభావ్యత ఎక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి వాయు విచ్ఛేదన రేటు బాగా పెరుగుతుంది. తదనుగుణంగా, డిశ్చార్జ్ వాయువు (లేదా ప్లాస్మా) యొక్క ఇంపెడెన్స్ బాగా తగ్గుతుంది. అందువల్ల, DC డైపోల్ స్పట్టరింగ్తో పోలిస్తే DC మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్లో, పని చేసే పీడనాన్ని 1~10Pa నుండి 10-210-1Pa కు తగ్గించినప్పటికీ, స్పట్టరింగ్ వోల్టేజ్ కూడా వేల వోల్టుల నుండి వందల వోల్టులకు తగ్గుతుంది, స్పట్టరింగ్ సామర్థ్యం మరియు డిపాజిషన్ రేటు అనేక రెట్లు పెరుగుతాయి.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-01-2023