Sifa za mipako ya sumaku ya magnetron Sura ya 1

Ikilinganishwa na teknolojia zingine za mipako, mipako ya kunyunyizia magnetron ina sifa zifuatazo: vigezo vya kufanya kazi vina kiwango kikubwa cha marekebisho ya kasi ya uwekaji wa mipako na unene (hali ya eneo lililofunikwa) inaweza kudhibitiwa kwa urahisi, na hakuna kizuizi cha muundo kwenye jiometri ya shabaha ya magnetron ili kuhakikisha usawa wa mipako; hakuna tatizo la chembe za matone kwenye safu ya filamu; karibu metali zote, aloi, na kauri zinaweza kutengenezwa kuwa nyenzo lengwa; na nyenzo lengwa zinaweza kuzalishwa na kunyunyizia magnetron DC au RF, ambayo inaweza kutoa mipako safi ya chuma au aloi yenye uwiano sahihi, pamoja na filamu tendaji za chuma zenye ushiriki wa gesi. Kupitia kunyunyizia DC au RF, inawezekana kutoa mipako safi ya chuma au aloi yenye uwiano sahihi na wa mara kwa mara, pamoja na filamu tendaji za chuma zenye ushiriki wa gesi, ili kukidhi mahitaji ya utofauti wa filamu nyembamba na usahihi wa hali ya juu. Vigezo vya kawaida vya mchakato wa mipako ya kunyunyizia magnetron ni: shinikizo la kufanya kazi la 0.1Pa; voltage lengwa ya 300~700V; msongamano wa nguvu lengwa wa 1~36W/cm².

Vipengele maalum vya kunyunyizia magnetron ni:

(1) Kiwango cha juu cha uwekaji. Kutokana na matumizi ya elektrodi za sumaku, mkondo mkubwa sana wa ioni za mabomu ya shabaha unaweza kupatikana, kwa hivyo kiwango cha uchomaji wa sputter kwenye uso unaolengwa na kiwango cha uwekaji wa filamu kwenye uso wa substrate vyote ni vya juu sana.

(2) Ufanisi mkubwa wa nguvu. Uwezekano wa mgongano wa elektroni zenye nishati kidogo na atomi za gesi ni mkubwa, kwa hivyo kiwango cha mtengano wa gesi huongezeka sana. Ipasavyo, kizuizi cha gesi ya kutokwa (au plasma) hupunguzwa sana. Kwa hivyo, kunyunyizia sumaku ya DC ikilinganishwa na kunyunyizia dipole ya DC, hata kama shinikizo la kufanya kazi limepunguzwa kutoka 1 ~ 10Pa hadi volti ya kunyunyizia 10-210-1Pa pia hupunguzwa kutoka maelfu ya volti hadi mamia ya volti, ufanisi wa kunyunyizia na kiwango cha uwekaji huongezeka kwa amri za ukubwa.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua