Басқа жабын технологияларымен салыстырғанда, магнетронды шашырату жабыны келесі ерекшеліктермен сипатталады: жұмыс параметрлері жабынның шөгу жылдамдығы мен қалыңдығының (жабылған аймақтың күйі) үлкен динамикалық реттеу диапазонына ие, және жабынның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін магнетронды нысананың геометриясында ешқандай жобалау шектеулері жоқ; пленка қабатында тамшы бөлшектерінің болуы мәселесі жоқ; барлық дерлік металдар, қорытпалар және керамика мақсатты материалдарға айналуы мүмкін; және мақсатты материалды тұрақты немесе радиожиілік магнетронды шашырату арқылы алуға болады, бұл дәл қатынасы бар таза металл немесе қорытпа жабындарын, сондай-ақ газ қатысатын металл реактивті пленкаларды жасай алады. Тұрақты немесе радиожиілік шашырату арқылы жұқа пленка әртүрлілігі мен жоғары дәлдік талаптарын қанағаттандыру үшін дәл және тұрақты қатынасы бар таза металл немесе қорытпа жабындарын, сондай-ақ газ қатысатын металл реактивті пленкаларды жасауға болады. Магнетронды шашырату жабынының типтік процесінің параметрлері: жұмыс қысымы 0,1Па; мақсатты кернеуі 300~700В; мақсатты қуат тығыздығы 1~36Вт/см².
Магнетронды тозаңдатудың ерекше белгілері:
(1) Жоғары тұндыру жылдамдығы. Магнетронды электродтарды пайдаланудың арқасында өте үлкен нысана бомбалау иондық тогын алуға болады, сондықтан нысана бетіндегі шашыраңқы ою жылдамдығы және негіз бетіндегі пленканың тұндыру жылдамдығы өте жоғары.
(2) Жоғары қуат тиімділігі. Төмен энергиялы электрондар мен газ атомдарының соқтығысу ықтималдығы жоғары, сондықтан газдың диссоциациялану жылдамдығы айтарлықтай артады. Тиісінше, разряд газының (немесе плазманың) кедергісі айтарлықтай төмендейді. Сондықтан, тұрақты ток магнетронды шашырату тұрақты дипольді шашыратумен салыстырғанда, жұмыс қысымы 1 ~ 10Па-дан 10-210-1Па-ға дейін төмендегеннің өзінде, шашырату кернеуі мыңдаған вольттан жүздеген вольтқа дейін төмендейді, шашырату тиімділігі мен тұндыру жылдамдығы бірнеше есе артады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 01.12.2023