បើប្រៀបធៀបជាមួយបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតផ្សេងទៀត ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងមានលក្ខណៈដោយលក្ខណៈពិសេសដូចខាងក្រោម៖ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រការងារមានជួរលៃតម្រូវថាមវន្តធំនៃល្បឿនដាក់ថ្នាំកូត និងកម្រាស់ (ស្ថានភាពនៃផ្ទៃថ្នាំកូត) អាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងងាយស្រួល ហើយមិនមានការកំណត់រចនាលើធរណីមាត្រនៃគោលដៅម៉ាញ៉េត្រុងដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូតនោះទេ។ មិនមានបញ្ហានៃភាគល្អិតដំណក់ទឹកនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តនោះទេ។ ស្ទើរតែលោហៈ យ៉ាន់ស្ព័រ និងសេរ៉ាមិចទាំងអស់អាចត្រូវបានផលិតទៅជាសម្ភារៈគោលដៅ។ ហើយសម្ភារៈគោលដៅអាចត្រូវបានផលិតដោយការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុង DC ឬ RF ដែលអាចបង្កើតថ្នាំកូតលោហៈសុទ្ធ ឬយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានសមាមាត្រច្បាស់លាស់ ក៏ដូចជាខ្សែភាពយន្តប្រតិកម្មលោហៈដែលមានការចូលរួមឧស្ម័ន។ តាមរយៈការបាញ់ DC ឬ RF វាអាចបង្កើតថ្នាំកូតលោហៈសុទ្ធ ឬយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានសមាមាត្រច្បាស់លាស់ និងថេរ ក៏ដូចជាខ្សែភាពយន្តប្រតិកម្មលោហៈដែលមានការចូលរួមឧស្ម័ន ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការនៃភាពចម្រុះនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការធម្មតាសម្រាប់ថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងគឺ៖ សម្ពាធការងារ 0.1 Pa; វ៉ុលគោលដៅ 300~700V; ដង់ស៊ីតេថាមពលគោលដៅ 1~36W/cm²។
លក្ខណៈពិសេសជាក់លាក់នៃការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចគឺ៖
(1) អត្រាដាក់ខ្ពស់។ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់អេឡិចត្រូតម៉ាញ៉េទិច អាចទទួលបានចរន្តអ៊ីយ៉ុងបាញ់គោលដៅដ៏ធំមួយ ដូច្នេះអត្រាឆ្លាក់ប្រោះលើផ្ទៃគោលដៅ និងអត្រាដាក់ខ្សែភាពយន្តលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមសុទ្ធតែខ្ពស់ខ្លាំង។
(2) ប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់។ ប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអេឡិចត្រុងថាមពលទាប និងអាតូមឧស្ម័នគឺខ្ពស់ ដូច្នេះអត្រានៃការបំបែកឧស្ម័នកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ ដូច្នោះហើយ ភាពធន់នៃឧស្ម័នបញ្ចេញ (ឬប្លាស្មា) ត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។ ដូច្នេះ ការបាញ់ម៉ាញ៉េទិច DC បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការបាញ់ឌីប៉ូល DC ទោះបីជាសម្ពាធការងារត្រូវបានកាត់បន្ថយពី 1~10Pa ដល់ 10-210-1Pa ក៏ដោយ វ៉ុលបាញ់ក៏ត្រូវបានកាត់បន្ថយពីរាប់ពាន់វ៉ុលទៅរាប់រយវ៉ុល ប្រសិទ្ធភាពបាញ់ និងអត្រាដាក់ត្រូវបានកើនឡើងជាលំដាប់។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែធ្នូ-០១-២០២៣