Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí mìíràn, ìbòrí ìbòrí magnetron sputtering ni a fi àwọn ànímọ́ wọ̀nyí hàn: àwọn pàrámítà iṣẹ́ ní ìwọ̀n ìyípadà oníyípadà ńlá ti iyàrá ìpamọ́ ìbòrí àti nínípọn (ipò agbègbè tí a bò) ni a lè ṣàkóso ní irọ̀rùn, kò sì sí ìdíwọ́ àwòrán lórí geometry ti àfojúsùn magnetron láti rí i dájú pé ìbòrí náà bá ara mu; kò sí ìṣòro àwọn pàrámítà ìṣàn nínú ìpele fíìmù náà; ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ pé gbogbo àwọn irin, àwọn alloy, àti àwọn seramiki ni a lè ṣe sí àwọn ohun èlò ìfojúsùn; àti pé a lè ṣe ohun èlò ìfojúsùn nípa lílo DC tàbí RF magnetron sputtering, èyí tí ó lè ṣe àwọn ìbòrí irin mímọ́ tàbí alloy pẹ̀lú ìpíndọ́gba pípé, àti àwọn fíìmù ìfèsìpadà irin pẹ̀lú ìkópa gaasi. Nípasẹ̀ sputtering DC tàbí RF, ó ṣeé ṣe láti ṣe àwọn ìbòrí irin mímọ́ tàbí alloy pẹ̀lú ìpíndọ́gba pípé àti déédé, àti àwọn fíìmù ìfèsìpadà irin pẹ̀lú ìkópa gaasi, láti bá àwọn ohun tí a nílò ti onírúurú fíìmù tín-tín àti ìṣedéédé gíga mu. Àwọn ìlànà ìlànà tí ó wọ́pọ̀ fún ìbòrí magnetron sputtering ni: titẹ iṣẹ́ ti 0.1Pa; folti afojusun ti 300~700V; iwuwo agbara afojusun ti 1~36W/cm².
Awọn ẹya ara ẹrọ pato ti magnetron sputtering ni:
(1) Ìwọ̀n ìfipamọ́ gíga. Nítorí lílo àwọn elektrodu magnetron, a lè rí ìṣàn ion ìbọn ìbọn tí ó tóbi gan-an, nítorí náà ìwọ̀n ìfipamọ́ sputter lórí ojú ibi tí a fẹ́ dé àti ìwọ̀n ìfipamọ́ fíìmù lórí ojú ilẹ̀ náà ga gidigidi.
(2) Lilo agbara giga. Iseese ijamba ti awọn elekitironi agbara kekere ati awọn atomu gaasi ...
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-01-2023