Mga kinaiya sa magnetron sputtering coating Kapitulo 1

Kon itandi sa ubang mga teknolohiya sa coating, ang magnetron sputtering coating gihulagway sa mosunod nga mga bahin: ang mga parameter sa pagtrabaho adunay dako nga dinamikong range sa pag-adjust sa katulin sa coating deposition ug ang gibag-on (ang kahimtang sa coated area) dali nga makontrol, ug walay limitasyon sa disenyo sa geometry sa magnetron target aron masiguro ang pagkaparehas sa coating; walay problema sa mga droplet particle sa film layer; halos tanan nga metal, alloy, ug ceramics mahimong himuong target nga mga materyales; ug ang target nga materyal mahimong himoon pinaagi sa DC o RF magnetron sputtering, nga makamugna og puro nga metal o alloy coatings nga adunay tukma nga ratio, ingon man mga metal reactive films nga adunay partisipasyon sa gas. Pinaagi sa DC o RF sputtering, posible nga makamugna og puro nga metal o alloy coatings nga adunay tukma ug makanunayon nga ratio, ingon man mga metal reactive films nga adunay partisipasyon sa gas, aron matubag ang mga kinahanglanon sa thin film diversity ug taas nga katukma. Ang kasagarang mga parameter sa proseso alang sa magnetron sputtering coating mao ang: working pressure nga 0.1Pa; target voltage nga 300 ~ 700V; target power density nga 1 ~ 36W / cm².

Ang mga espesipikong kinaiya sa magnetron sputtering mao ang:

(1) Taas nga deposition rate. Tungod sa paggamit sa magnetron electrodes, usa ka dako kaayo nga target bombardment ion current ang makuha, busa ang sputter etching rate sa target surface ug ang film deposition rate sa substrate surface parehong taas kaayo.

(2) Taas nga kahusayan sa kuryente. Taas ang posibilidad sa pagbangga sa mga low-energy nga electron ug mga atomo sa gas, busa ang gas dissociation rate motaas pag-ayo. Tungod niini, ang impedance sa discharge gas (o plasma) moubos pag-ayo. Busa, ang DC magnetron sputtering kon itandi sa DC dipole sputtering, bisan kung ang working pressure mokunhod gikan sa 1~10Pa ngadto sa 10-210-1Pa sputtering voltage mokunhod usab gikan sa liboan ka volts ngadto sa gatusan ka volts, ang sputtering efficiency ug deposition rate motaas sa daghang order.

–Kini nga artikulo gipagawas nitiggama og vacuum coating machineGuangdong Zhenhua