Башка каплау технологияләре белән чагыштырганда, магнетрон сиптерү каплавы түбәндәге үзенчәлекләр белән характерлана: эш параметрлары зур динамик көйләү диапазонына ия, каплау тизлеге һәм калынлыгы (капланган мәйданның торышы) җиңел контрольдә тотыла ала, һәм каплауның бердәмлеген тәэмин итү өчен магнетрон максатының геометриясенә дизайн чикләүләре юк; пленка катламында тамчы кисәкчәләре проблемасы юк; диярлек барлык металлар, эретмәләр һәм керамика максат материалларына әйләндерелергә мөмкин; һәм максат материалын даими яки радиоешлыклы магнетрон сиптерү ярдәмендә җитештерергә мөмкин, бу төгәл нисбәт белән саф металл яки эретмә каплауларын, шулай ук газ катнашында металл реактив пленкалар булдыра ала. Даими яки радиоешлыклы сиптерү ярдәмендә, юка пленка төрлелеге һәм югары төгәллек таләпләрен канәгатьләндерү өчен, төгәл һәм даими нисбәт белән саф металл яки эретмә каплауларын, шулай ук газ катнашында металл реактив пленкалар булдырырга мөмкин. Магнетрон сиптерү каплавы өчен типик процесс параметрлары: эш басымы 0,1Па; максат көчәнеше 300~700В; максатлы көч тыгызлыгы 1~36Вт/см².
Магнетрон сиптерүнең үзенчәлекләре:
(1) Югары утыру тизлеге. Магнетрон электродлары куллану аркасында бик зур максатлы бомбардировка ион тогы алынырга мөмкин, шуңа күрә максат өслегендә сиптерү тизлеге һәм субстрат өслегендә пленка утыру тизлеге бик югары.
(2) Югары энергия нәтиҗәлелеге. Түбән энергияле электроннар һәм газ атомнарының бәрелү ихтималы югары, шуңа күрә газ диссоциациясе тизлеге сизелерлек арта. Шуңа күрә, разряд газының (яки плазманың) импедансы сизелерлек кими. Шуңа күрә, даими ток магнетрон сиптерүе даими диполь сиптерүе белән чагыштырганда, эш басымы 1 ~ 10Падан 10-210-1Пага кадәр киметелсә дә, сиптерү көчәнеше меңләгән вольттан йөзләгән вольтка кадәр кими, сиптерү нәтиҗәлелеге һәм утыру тизлеге шактый арта.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2023 елның 1 декабре