Makhalidwe a magnetron sputtering covering Chapter 1

Poyerekeza ndi ukadaulo wina wopaka utoto, utoto wopaka utoto wa magnetron umadziwika ndi zinthu zotsatirazi: magawo ogwirira ntchito ali ndi kusintha kwakukulu kwa liwiro loyika utoto ndipo makulidwe (mkhalidwe wa malo opaka utoto) amatha kuwongoleredwa mosavuta, ndipo palibe malire a kapangidwe ka geometry ya cholinga cha magnetron kuti zitsimikizire kufanana kwa utoto; palibe vuto la tinthu tating'onoting'ono ta dontho mu filimu; pafupifupi zitsulo zonse, ma alloy, ndi ma ceramics zitha kupangidwa kukhala zida zofunira; ndipo zinthu zomwe zikufunidwa zitha kupangidwa ndi utoto wa DC kapena RF magnetron, womwe ungapange utoto woyera wachitsulo kapena wa alloy wokhala ndi chiŵerengero cholondola, komanso mafilimu oyankha achitsulo okhala ndi gasi. Kudzera mu utoto wa DC kapena RF, n'zotheka kupanga utoto woyera wachitsulo kapena wa alloy wokhala ndi chiŵerengero cholondola komanso chokhazikika, komanso mafilimu oyankha achitsulo okhala ndi gasi, kuti akwaniritse zofunikira za kusiyanasiyana kwa filimu yopyapyala komanso kulondola kwambiri. Magawo wamba a njira yopaka utoto wa magnetron ndi awa: kuthamanga kwa ntchito kwa 0.1Pa; voliyumu yolunjika ya 300~700V; kuchuluka kwa mphamvu yolunjika ya 1~36W/cm².

Makhalidwe enieni a magnetron sputtering ndi awa:

(1) Kuchuluka kwa kuyika kwa zinthu. Chifukwa cha kugwiritsa ntchito ma electrode a magnetron, mphamvu ya ion yophulika kwambiri ingapezeke, kotero kuchuluka kwa kuyika kwa sputter pamwamba pa chinthucho ndi kuchuluka kwa kuyika kwa filimu pamwamba pa chinthucho ndi kwakukulu kwambiri.

(2) Mphamvu yamphamvu kwambiri. Kuthekera kwa kugundana kwa ma elekitironi ndi ma atomu a gasi omwe alibe mphamvu zambiri ndi kwakukulu, kotero kuchuluka kwa kugawanika kwa mpweya kumawonjezeka kwambiri. Chifukwa chake, kulephera kwa mpweya wotulutsa (kapena plasma) kumachepa kwambiri. Chifukwa chake, kupopera kwa DC magnetron poyerekeza ndi kupopera kwa DC dipole, ngakhale kuthamanga kwa ntchito kuchepetsedwa kuchokera pa 1 ~ 10Pa mpaka 10-210-1Pa kupopera kwa magetsi kumachepetsedwanso kuchokera pa zikwi za ma volts mpaka mazana a ma volts, kugwira ntchito bwino kwa kupopera ndi kuchuluka kwa kupopera kumawonjezeka ndi kuchuluka kwakukulu.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua