Nā ʻano o ka uhi ʻana o ka magnetron sputtering Mokuna 1

Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻenehana uhi ʻē aʻe, ua hōʻike ʻia ka uhi ʻana o ka magnetron sputtering e nā hiʻohiʻona aʻe: loaʻa i nā palena hana kahi laulā hoʻoponopono nui o ka wikiwiki o ka waiho ʻana o ka uhi a me ka mānoanoa (ke kūlana o ka wahi i uhi ʻia) hiki ke hoʻomalu maʻalahi ʻia, a ʻaʻohe palena hoʻolālā ma ke ʻano o ka pahuhopu magnetron e hōʻoia i ka like o ka uhi ʻana; ʻaʻohe pilikia o nā ʻāpana kulu i loko o ka papa kiʻiʻoniʻoni; aneane hiki ke hana ʻia nā metala āpau, nā alloys, a me nā keramika i nā mea pahuhopu; a hiki ke hana ʻia ka mea pahuhopu e ka DC a i ʻole RF magnetron sputtering, hiki ke hana i nā uhi metala maʻemaʻe a i ʻole nā ​​​​​​uhi alloy me ka ratio pololei, a me nā kiʻiʻoniʻoni reactive metala me ke komo ʻana o ke kinoea. Ma o ka DC a i ʻole RF sputtering, hiki ke hana i nā uhi metala maʻemaʻe a i ʻole nā ​​​​​​uhi alloy me nā ratio pololei a mau, a me nā kiʻiʻoniʻoni reactive metala me ke komo ʻana o ke kinoea, e hoʻokō i nā koi o ka ʻokoʻa kiʻiʻoniʻoni lahilahi a me ka pololei kiʻekiʻe. ʻO nā palena hana maʻamau no ka uhi ʻana o ka magnetron sputtering: kaomi hana o 0.1Pa; volta pahuhopu o 300 ~ 700V; ka nui o ka mana pahuhopu o 1 ~ 36W / cm².

ʻO nā hiʻohiʻona kikoʻī o ka magnetron sputtering:

(1) Ka nui o ka hoʻokahe ʻana. Ma muli o ka hoʻohana ʻana i nā electrodes magnetron, hiki ke loaʻa kahi au ion bombardment nui loa i ka pahuhopu, no laila ʻo ka nui o ka etching sputter ma ka ʻili o ka pahuhopu a me ka nui o ka hoʻokahe ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni ma ka ʻili o ka substrate he kiʻekiʻe loa ia.

(2) Ka pono o ka mana kiʻekiʻe. Kiʻekiʻe ka hiki ke kuʻi ʻana o nā electrons ikehu haʻahaʻa a me nā ʻātoma kinoea, no laila ua hoʻonui nui ʻia ka nui o ka hoʻokaʻawale ʻana o ke kinoea. No laila, ua hoʻemi nui ʻia ka impedance o ke kinoea hoʻokuʻu (a i ʻole plasma). No laila, ua hoʻohālikelike ʻia ka DC magnetron sputtering me ka DC dipole sputtering, ʻoiai inā ua hoʻemi ʻia ke kaomi hana mai 1 ~ 10Pa a i 10-210-1Pa sputtering voltage ua hoʻemi ʻia hoʻi mai nā tausani o volts a i nā haneli o volts, ua hoʻonui ʻia ka pono o ka sputtering a me ka nui o ka deposition e nā kauoha o ka nui.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua