Beýleki örtük tehnologiýalary bilen deňeşdirilende, magnitron tüýdük örtügi aşakdaky aýratynlyklar bilen häsiýetlendirilýär: iş parametrleri örtügiň depgin tizliginiň we galyňlygynyň uly dinamiki sazlaýyş diapazonyna eýe (örtülen meýdanyň ýagdaýy) aňsatlyk bilen dolandyrylyp bilner we örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin magnitron nyşanynyň geometriýasynda dizaýn çäklendirmesi ýok; film gatlagynda damja bölejikleri meselesi ýok; ähli metallar, erginler we keramika diýen ýaly maksatly materiallara ýasalyp bilner; maksatly material, takyk gatnaşygy bolan arassa metal ýa-da garyndy örtükleri, şeýle hem gazyň gatnaşmagynda metal reaktiw filmleri döredip bilýän DC ýa-da RF magnitron tüýdükleri arkaly öndürilip bilner. DC ýa-da RF tüýdüginiň üsti bilen takyk we hemişelik gatnaşygy bolan arassa metal ýa-da garyndy örtükleri, şeýle hem gazyň gatnaşmagynda metal reaktiw filmleri inçe film dürlüliginiň we ýokary takyklygyň talaplaryny kanagatlandyrmak mümkin. Magnitron tüýdük örtügi üçin adaty proses parametrleri: iş basyşy 0,1Pa; maksatly naprýa 300eniýe 300 ~ 700V; maksatly güýç dykyzlygy 1 ~ 36W / cm².
Magnitronyň dökülmeginiň aýratynlyklary:
(1) Depokary depozit derejesi. Magnetron elektrodlaryň ulanylmagy sebäpli, gaty uly nyşana bombaly ion tokyny alyp bolýar, şonuň üçin nyşanyň üstündäki tüýkülik derejesi we substratyň üstündäki filmiň depozit derejesi hem gaty ýokary.
(2) powerokary güýç netijeliligi. Pes energiýaly elektronlaryň we gaz atomlarynyň çaknyşmak ähtimallygy ýokary, şonuň üçin gazyň bölüniş tizligi ep-esli ýokarlanýar. Şoňa laýyklykda çykarylýan gazyň (ýa-da plazmanyň) päsgelçiligi ep-esli azalýar. Şonuň üçin DC magnitron tüýdügi, DC dipol tüýdügi bilen deňeşdirilende, iş basyşy 1 ~ 10Pa-dan 10-210-1Pa çenli azalsa-da, tüweleý naprýa .eniýesi müňlerçe woltdan ýüzlerçe wolta çenli azalsa-da, tüýkürmegiň netijeliligi we depozit derejesi ululyk buýruklary bilen ýokarlanýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 01-2023-nji dekabry