ลักษณะของฟิล์มเคลือบสปัตเตอร์

① การควบคุมและความสามารถในการทำซ้ำความหนาของฟิล์มได้ดี

ความหนาของฟิล์มสามารถควบคุมได้ตามค่าที่กำหนดไว้ล่วงหน้าหรือไม่ เรียกว่าความสามารถในการควบคุมความหนาของฟิล์ม ความหนาของฟิล์มที่ต้องการสามารถทำซ้ำได้หลายครั้ง ซึ่งเรียกว่าความสามารถในการทำซ้ำความหนาของฟิล์ม เนื่องจากสามารถควบคุมกระแสการคายประจุและกระแสเป้าหมายของการเคลือบแบบสปัตเตอร์สูญญากาศแยกกันได้ ดังนั้น ความหนาของฟิล์มที่สปัตเตอร์จึงสามารถควบคุมได้ และสามารถเคลือบฟิล์มที่มีความหนาที่กำหนดไว้ล่วงหน้าได้อย่างน่าเชื่อถือ นอกจากนี้ การเคลือบแบบสปัตเตอร์ยังสามารถให้ฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอบนพื้นผิวขนาดใหญ่ได้อีกด้วย

② การยึดเกาะที่แข็งแรงระหว่างฟิล์มและพื้นผิว

พลังงานของอะตอมที่สปัตเตอร์นั้นสูงกว่าพลังงานของอะตอมที่ระเหยไป 1-2 เท่า การแปลงพลังงานของอะตอมที่สปัตเตอร์พลังงานสูงที่สะสมอยู่บนพื้นผิวจะสูงกว่าของอะตอมที่ระเหยไปมาก ซึ่งจะสร้างความร้อนที่สูงขึ้นและเพิ่มการยึดเกาะระหว่างอะตอมที่สปัตเตอร์และพื้นผิว นอกจากนี้ อะตอมที่สปัตเตอร์พลังงานสูงบางชนิดยังสร้างการฉีดในระดับที่แตกต่างกัน โดยสร้างชั้นการแพร่กระจายเทียมบนพื้นผิว นอกจากนี้ พื้นผิวจะได้รับการทำความสะอาดและเปิดใช้งานในบริเวณพลาสมาเสมอในระหว่างกระบวนการสร้างฟิล์ม ซึ่งจะกำจัดอะตอมที่สปัตเตอร์ที่มีการยึดเกาะที่อ่อนแอ และทำให้พื้นผิวพื้นผิวบริสุทธิ์และเปิดใช้งาน ดังนั้น ฟิล์มที่สปัตเตอร์จึงมีการยึดเกาะกับพื้นผิวอย่างแข็งแรง

③ สามารถเตรียมฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากเป้าหมายได้

หากใส่ก๊าซที่มีปฏิกิริยาระหว่างการสปัตเตอร์เพื่อให้เกิดปฏิกิริยากับเป้าหมาย ก็จะได้ฟิล์มวัสดุใหม่ที่แตกต่างจากเป้าหมายโดยสิ้นเชิง ตัวอย่างเช่น ใช้ซิลิกอนเป็นเป้าหมายในการสปัตเตอร์ จากนั้นใส่ออกซิเจนและอาร์กอนเข้าไปในห้องสูญญากาศพร้อมกัน หลังจากการสปัตเตอร์ ก็จะได้ฟิล์มฉนวน SiOz เมื่อใช้ไททาเนียมเป็นเป้าหมายในการสปัตเตอร์ ก็จะใส่ไนโตรเจนและอาร์กอนเข้าไปในห้องสูญญากาศพร้อมกัน และจะได้ฟิล์มคล้ายทองของเฟส TiN หลังจากการสปัตเตอร์

④ ฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงและคุณภาพดี

เนื่องจากไม่มีส่วนประกอบของเบ้าหลอมในอุปกรณ์เตรียมฟิล์มสปัตเตอร์ ส่วนประกอบของวัสดุทำความร้อนเบ้าหลอมจะไม่ผสมอยู่ในชั้นฟิล์มสปัตเตอร์ ข้อเสียของการเคลือบสปัตเตอร์คือ ความเร็วในการสร้างฟิล์มจะช้ากว่าการเคลือบแบบระเหย อุณหภูมิของพื้นผิวจะสูงกว่า ได้รับผลกระทบจากก๊าซเจือปนได้ง่าย และโครงสร้างอุปกรณ์มีความซับซ้อนมากขึ้น

บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhua ซึ่งเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ