Раванди пӯшонидани ионҳои катодӣ

Раванди пӯшонидани ионҳои катодӣ чунин аст:

1、Пингарҳои чиниро дар фурӯпошӣ гузоред.

2、Васл кардани қисмҳои корӣ.

3 、 Пас аз эвакуатсия ба 5 × 10-3 Па, гази аргон аз найчаи нуқра ба камераи пӯшиш ворид карда мешавад ва сатҳи вакуум тақрибан 100 Па аст.

4, Қувваи ғаразнокро фаъол созед.

5、Баъд аз фурӯзон кардани қувваи камон барои афрӯхтани разряди катодҳои холӣ. Рақами дурахшанда дар найчаи тугма тавлид мешавад, Шиддати разряд 800~1000В аст, Ҷараёни камон 30~50А аст. Аз сабаби таъсири катодҳои холии разряди дурахшанда, разряди баланди ҷараён, найчаи нуқра девори найчаи вентиҷро бомбаборон мекунад, девори қубурро зуд то ба хориҷшавии ҷараёни электронҳо гарм кунад, режими разряд аз тағири ногаҳонии разряд ба разряди камон, шиддат 40 ~ 70В, ҷараён 80 ~ 300А аст. Ҳарорати қубури нуқра аз 2300K боло меравад, найҳои лампаҳои электрикӣ ва E. ба анод тир холй кард.

6、Танзими сатҳи вакуум. Сатҳи вакуум барои разряди дурахшанда аз таппончаи катодҳои холӣ тақрибан 100 Па аст ва дараҷаи вакууми рӯйпӯш 8×10-1~2Па аст. Аз ин рӯ, пас аз оташ гирифтани разряди камон, сатҳи гази аргонро ҳарчи зудтар коҳиш диҳед.

7、Қабати пояи титанӣ.Ҷараёни электрон ба зарфи металлии чинӣ ба таври анодӣ фурӯ рехта мешавад, Табдил додани энергияи кинетикӣ ба энергияи гармӣ, Бухоршавии металли чинӣ тавассути гармкунӣ, Атомҳои буғ ба порчаи корӣ расида, филми титаниро ташкил медиҳанд.

8、Таҳияи TiN. Гази нитроген ба камераи пӯшиш дода мешавад,Гази нитроген ва атомҳои бухоршуда ба ионҳои нитроген ва титан ионизатсия мешаванд.Дар болои тигел,Эҳтимолияти баландтари бархӯрдҳои ноустувори атомҳои буғи титан бо ҷараёнҳои зиччи электромагнитӣ, суръати баланди энергияи металлӣ мебошад. 20% ~ 40%., Ионҳои титан эҳтимоли бештар бо нитрогени реаксия ба таври кимиёвӣ реаксия мекунанд, Ҷойгиршавӣ барои ба даст овардани қабати филми мантияи нитридӣ. Пули катодҳои ковок ҳам манбаи бухоршавӣ аст， Дигар манбаи ионизатсия. Ҳангоми пӯшиш, Ҷараёни ғалтаки электромагнитӣ дар атрофи тигел низ бояд маркази электромагнитӣ бошад. фурӯпошӣ, Ҳамин тариқ, зичии қувваи ҷараёни электронҳо зиёд мешавад.

9、Қорро хомӯш кунед. Пас аз он ки ғафсии филм ба ғафсии филми қаблан муайяншуда мерасад, таъминоти барқи камонро хомӯш кунед、Таъмини барқ ​​ва таъмини ҳаворо хомӯш кунед.