Оксиди калъаи индиӣ (Оксиди тини ҳиндӣ, бо номи ITO) як фосилаи васеъ, маводи нимноқили навъи n-и сахт бо гузариши равшани намоён ва хусусиятҳои муқовимати паст мебошад ва аз ин рӯ дар ҳуҷайраҳои офтобӣ, дисплейҳои панелҳои ҳамвор, тирезаҳои электрохромӣ, филтрҳои ғайриорганикӣ ва органикӣ ва филфилмҳо ва филфилҳои органикӣ ва филфилҳои органикӣ истифода мешаванд. детекторхои ультрабунафш ва дигар асбобхои фотоэлектрикй ва гайра усулхои зиёди тайёр кардани плёнкахои ИТО, аз чумла рехтани лазерии импулсй, пошидани бухори химиявй, декомпозитсияи термикии дорупошй, золь-гель, бухоршавй ва гайра мавчуданд. Дар байни усули бухоршавй бухоркунии шуои электронй бештар истифода мешавад.
Роҳҳои зиёди тайёр кардани плёнкаи ITO вуҷуд доранд, аз ҷумла гузоштани лазерии импулсӣ, пошидани буғҳои кимиёвӣ, пиролизи пошидани, золь-гел, бухоршавӣ ва ғайра, ки аз онҳо усули бухоршавӣ маъмулан бухоркунии шуои электронист. Тайёр кардани бухоршавии филмҳои ITO одатан ду роҳ дорад: яке аз ин истифодаи хӯлаи баландсифати In, Sn ҳамчун маводи манбаъ, дар атмосфераи оксиген барои бухоршавии реаксия; дуюм истифода бурдани омехтаи тозагии баланд In2O3:, SnO2 ҳамчун маводи манбаъ барои бухоршавии мустақим. Барои сохтани филм бо гузариши баланд ва муқовимати паст, одатан ҳарорати баландтари субстрат ё зарурати тозакунии минбаъдаи филмро талаб мекунад. HR Fallah ва дигарон. усули бухоршавии шуоъхои электрониро дар харорати паст барои гузоштани плёнкахои тунуки ITO, омухтани таъсири суръати пошидан, харорати гармшавй ва дигар параметрхои процесс ба структураи плёнка, хосиятхои электрики ва оптики истифода бурд. Онҳо қайд карданд, ки паст кардани суръати таҳшин метавонад гузарандаро зиёд кунад ва муқовимати филмҳои дар ҳарорати паст парваришшударо коҳиш диҳад. Интиқоли нури намоён бештар аз 92% ва муқовимат ба 7X10-4Ωcm аст. онҳо плёнкаҳои ITO-ро, ки дар ҳарорати хонагӣ дар 350 ~ 550 ℃ парвариш карда шудаанд, гарм карданд ва муайян карданд, ки ҳарорати гармкунӣ ҳар қадар баландтар бошад, хосияти кристаллии филмҳои ITO ҳамон қадар беҳтар аст. гузариши нури намоёни филмҳо пас аз коркард дар 550 ℃ 93% ва андозаи дона тақрибан 37 нм аст. усули плазма инчунин метавонад ҳарорати субстратро ҳангоми ташаккули плёнка паст кунад, ки ин омили муҳимтарини ташаккули филм аст ва кристаллӣ низ муҳимтарин аст. Усули плазма инчунин метавонад ҳарорати субстратро ҳангоми ташаккули филм коҳиш диҳад ва филми ITO, ки аз таҳшин ба даст омадааст, дорои иҷрои хуб аст. муковимати фильми ITO, ки С Локс ва дигарон тайёр кардаанд. хеле паст аст, 5*10-”Ωcm, ва азхудкунии нур дар 550nm камтар аз 5% аст ва муқовимати филм ва фарохмаҷрои оптикӣ низ тавассути тағир додани фишори оксиген ҳангоми таҳшин тағир меёбад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: 23 март-2024