బోలు కాథోడ్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ

బోలు కాథోడ్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ క్రింది విధంగా ఉంటుంది:

1, కూలిపోవడంలో చిన్ ఇంగోట్లను ఉంచండి.

2, వర్క్‌పీస్‌ను అమర్చడం.

3, 5×10-3Pa వరకు ఖాళీ చేసిన తర్వాత, వెండి గొట్టం నుండి పూత గదిలోకి ఆర్గాన్ వాయువు ప్రవేశపెట్టబడుతుంది మరియు వాక్యూమ్ స్థాయి దాదాపు 100Pa ఉంటుంది.

4, బయాస్ పవర్ ఆన్ చేయండి.

5, హాలో కాథోడ్ డిశ్చార్జ్‌ను మండించడానికి ఆర్క్ పవర్‌ను ఆన్ చేసిన తర్వాత. బటన్ ట్యూబ్‌లో గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది, డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ 800~1000V, ఆర్క్-రైజింగ్ కరెంట్ 30~50A. గ్లో డిశ్చార్జ్ యొక్క హాలో కాథోడ్ ప్రభావం కారణంగా, అధిక గ్లో డిశ్చార్జ్ కరెంట్ సాంద్రత, సిల్వర్ ట్యూబ్‌లోని ఎలుక అయాన్ల అధిక సాంద్రత వాంటేజ్ ట్యూబ్ గోడపై బాంబు దాడి చేస్తుంది, ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహ ఉద్గారానికి ట్యూబ్ గోడ వేగంగా వేడెక్కేలా చేస్తుంది, గ్లో డిశ్చార్జ్ నుండి డిశ్చార్జ్ మోడ్ ఆర్క్ డిశ్చార్జ్‌కు ఆకస్మిక మార్పు, వోల్టేజ్ 40~70V, కరెంట్ 80~300A. సిల్వర్ ట్యూబ్ ఉష్ణోగ్రత 2300K కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, ప్రకాశించేది, ట్యూబ్ నుండి అధిక సాంద్రత కలిగిన ఆర్క్ ఎలక్ట్రాన్‌ల ప్రవాహాన్ని విడుదల చేస్తుంది మరియు ఆనోడ్‌కు షాట్ అవుతుంది.

6, వాక్యూమ్ స్థాయి సర్దుబాటు. హాలో కాథోడ్ గన్ నుండి గ్లో డిశ్చార్జ్ కోసం వాక్యూమ్ స్థాయి దాదాపు 100 Pa, మరియు పూత యొక్క వాక్యూమ్ డిగ్రీ 8×10-1~2Pa. అందువల్ల, ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ యొక్క జ్వలన తర్వాత, ఇన్‌కమింగ్ ఆర్గాన్ వాయువును వీలైనంత త్వరగా తగ్గించండి, వాక్యూమ్ స్థాయిని పూతకు అనువైన పరిధికి సర్దుబాటు చేయండి.

7, టైటానియం పూతతో కూడిన బేస్ పొర. అనోడికల్‌గా కుప్పకూలిన చిన్ మెటల్ ఇంగోట్‌పై ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం, గతి శక్తిని ఉష్ణ శక్తిగా మార్చడం, వేడి చేయడం ద్వారా చిన్ మెటల్‌ను ఆవిరి చేయడం, ఆవిరి అణువులు వర్క్‌పీస్‌కు చేరుకుని టైటానియం ఫిల్మ్‌ను ఏర్పరుస్తాయి.

8, TiN నిక్షేపణ. పూత గదికి నైట్రోజన్ వాయువు సరఫరా చేయబడుతుంది, నైట్రోజన్ వాయువు మరియు ఆవిరైన అణువులను నైట్రోజన్ మరియు టైటానియం అయాన్లుగా అయనీకరణం చేస్తారు. క్రూసిబుల్ పైన, తక్కువ-శక్తి ఎలక్ట్రాన్ల దట్టమైన ప్రవాహాలతో టైటానియం ఆవిరి అణువుల అస్థిర ఘర్షణల సంభావ్యత ఎక్కువగా ఉంటుంది, లోహ విచ్ఛేదనం రేటు 20%~40% వరకు ఉంటుంది., టైటానియం అయాన్లు ప్రతిచర్య వాయువు నైట్రోజన్‌తో రసాయనికంగా స్పందించే అవకాశం ఎక్కువగా ఉంటుంది, నైట్రైడ్ మాంటిల్ ఫిల్మ్ పొరను పొందేందుకు నిక్షేపణ జరుగుతుంది. బోలు కాథోడ్ గన్ రెండూ బాష్పీభవన మూలం, అయనీకరణానికి మరొక మూలం. పూత సమయంలో, క్రూసిబుల్ చుట్టూ ఉన్న విద్యుదయస్కాంత కాయిల్ యొక్క ప్రవాహాన్ని కూడా సర్దుబాటు చేయాలి, ఎలక్ట్రాన్ పుంజం కూలిపోయే కేంద్రానికి కేంద్రీకరించాలి, అందువలన, ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం యొక్క శక్తి సాంద్రత పెరుగుతుంది.

9, పవర్ ఆఫ్ చేయండి. ఫిల్మ్ మందం ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందాన్ని చేరుకున్న తర్వాత, ఆర్క్ పవర్ సప్లై, బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సప్లైను ఆపివేయండి.