அயன் முலாம் பூசும் இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை என்ன?

அயன் பூச்சுஇயந்திரம் 1960களில் DM Mattox முன்மொழிந்த கோட்பாட்டிலிருந்து உருவானது, மேலும் தொடர்புடைய சோதனைகள் அந்த நேரத்தில் தொடங்கின; 1971 வரை, சேம்பர்ஸ் மற்றும் பிறர் எலக்ட்ரான் கற்றை அயன் முலாம் பூசுதல் தொழில்நுட்பத்தை வெளியிட்டனர்; 1972 ஆம் ஆண்டில் பன்ஷா அறிக்கையில் எதிர்வினை ஆவியாதல் முலாம் பூசுதல் (ARE) தொழில்நுட்பம் சுட்டிக்காட்டப்பட்டது, அப்போது TiC மற்றும் TiN போன்ற சூப்பர்-ஹார்ட் ஃபிலிம் வகைகள் தயாரிக்கப்பட்டன; மேலும் 1972 ஆம் ஆண்டில், ஸ்மித் மற்றும் மோலி பூச்சு செயல்பாட்டில் வெற்று கேத்தோடு தொழில்நுட்பத்தை ஏற்றுக்கொண்டனர். 1980களில், சீனாவில் அயன் முலாம் இறுதியாக தொழில்துறை பயன்பாட்டின் நிலையை எட்டியது, மேலும் வெற்றிட பல-வில் அயன் முலாம் மற்றும் வில்-வெளியேற்ற அயன் முலாம் போன்ற பூச்சு செயல்முறைகள் தொடர்ச்சியாக தோன்றின.

வெற்றிட அயனி முலாம் பூசலின் முழு வேலை செயல்முறையும் பின்வருமாறு: முதலில்,பம்ப்வெற்றிட அறை, பின்னர்காத்திருவெற்றிட அழுத்தம் 4X10 ⁻ ³ Pa ஆக உள்ளது.அல்லது சிறந்தது, உயர் மின்னழுத்த மின்சார விநியோகத்தை இணைத்து, அடி மூலக்கூறுக்கும் ஆவியாக்கிக்கும் இடையில் குறைந்த மின்னழுத்த வெளியேற்ற வாயுவின் குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா பகுதியை உருவாக்குவது அவசியம். அடி மூலக்கூறு மின்முனையை 5000V DC எதிர்மறை உயர் மின்னழுத்தத்துடன் இணைத்து, கேத்தோடின் பளபளப்பு வெளியேற்றத்தை உருவாக்குகிறது. எதிர்மறை பளபளப்பு பகுதிக்கு அருகில் மந்த வாயு அயனிகள் உருவாக்கப்படுகின்றன. அவை கேத்தோடு இருண்ட பகுதிக்குள் நுழைந்து மின்சார புலத்தால் துரிதப்படுத்தப்பட்டு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பைத் தாக்குகின்றன. இது ஒரு துப்புரவு செயல்முறையாகும், பின்னர் பூச்சு செயல்முறையில் நுழைகின்றன. குண்டுவீச்சு வெப்பமாக்கலின் விளைவின் மூலம், சில முலாம் பூசும் பொருட்கள் ஆவியாகின்றன. பிளாஸ்மா பகுதி புரோட்டான்களுக்குள் நுழைகிறது, எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் மந்த வாயு அயனிகளுடன் மோதுகிறது, மேலும் அவற்றில் ஒரு சிறிய பகுதி அயனியாக்கம் செய்யப்படுகிறது, அதிக ஆற்றல் கொண்ட இந்த அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட அயனிகள் பட மேற்பரப்பைத் தாக்கி பட தரத்தை ஓரளவிற்கு மேம்படுத்தும்.

வெற்றிட அயனி முலாம் பூசுவதன் கொள்கை: வெற்றிட அறையில், வாயு வெளியேற்ற நிகழ்வு அல்லது ஆவியாக்கப்பட்ட பொருளின் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பகுதியைப் பயன்படுத்தி, ஆவியாக்கப்பட்ட பொருள் அயனிகள் அல்லது வாயு அயனிகளின் தாக்குதலின் கீழ், ஒரே நேரத்தில் இந்த ஆவியாக்கப்பட்ட பொருட்கள் அல்லது அவற்றின் வினைபடுபொருட்களை அடி மூலக்கூறில் வைப்பதன் மூலம் ஒரு மெல்லிய படலத்தைப் பெற முடியும். அயனி பூச்சுஇயந்திரம்வெற்றிட ஆவியாதல், பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பம் மற்றும் வாயு பளபளப்பு வெளியேற்றம் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது படத் தரத்தை மேம்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல், படத்தின் பயன்பாட்டு வரம்பையும் விரிவுபடுத்துகிறது. இந்த செயல்முறையின் நன்மைகள் வலுவான மாறுபாடு, நல்ல பட ஒட்டுதல் மற்றும் பல்வேறு பூச்சு பொருட்கள். அயன் முலாம் பூசுவதற்கான கொள்கை முதலில் DM மேட்டாக்ஸால் முன்மொழியப்பட்டது. பல வகையான அயன் முலாம் உள்ளன. மிகவும் பொதுவான வகை ஆவியாதல் வெப்பமாக்கல் ஆகும், இதில் எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல், எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமாக்கல், பிளாஸ்மா எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமாக்கல், உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமாக்கல் மற்றும் பிற வெப்பமாக்கல் முறைகள் அடங்கும்.