வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு செயல்முறை

வெற்று கேத்தோடு அயனி பூச்சு செயல்முறை பின்வருமாறு:

1, சரிவில் சின் இங்காட்களை வைக்கவும்.

2, பணிப்பகுதியை ஏற்றுதல்.

3, 5×10-3Pa க்கு வெளியேற்றப்பட்ட பிறகு, வெள்ளி குழாயிலிருந்து பூச்சு அறைக்குள் ஆர்கான் வாயு அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெற்றிட நிலை சுமார் 100Pa ஆகும்.

4, பயாஸ் பவரை இயக்கவும்.

5, வெற்று கேத்தோடு வெளியேற்றத்தைப் பற்றவைக்க ஆர்க் பவரை இயக்கிய பிறகு. பொத்தான் குழாயில் பளபளப்பு வெளியேற்றம் உருவாக்கப்படுகிறது, வெளியேற்ற மின்னழுத்தம் 800~1000V, வில்-உயர்த்தும் மின்னோட்டம் 30~50A. பளபளப்பு வெளியேற்றத்தின் வெற்று கேத்தோடு விளைவு காரணமாக, அதிக பளபளப்பு வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி, வெள்ளி குழாயில் உள்ள எலி அயனிகளின் அதிக அடர்த்தி வான்டேஜ் குழாயின் சுவரைத் தாக்குகிறது, குழாய் சுவரை எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் உமிழ்வுக்கு விரைவாக வெப்பப்படுத்துகிறது, பளபளப்பு வெளியேற்றத்திலிருந்து வெளியேற்ற முறை திடீர் வில் வெளியேற்றத்திற்கு மாறுகிறது, மின்னழுத்தம் 40~70V, மின்னோட்டம் 80~300A. வெள்ளி குழாய் வெப்பநிலை 2300K க்கு மேல் அடையும், ஒளிரும், குழாயிலிருந்து அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஆர்க் எலக்ட்ரான்களை வெளியிடுகிறது, மேலும் அனோடில் சுடப்படுகிறது.

6, வெற்றிட அளவை சரிசெய்தல். வெற்று கேத்தோடு துப்பாக்கியிலிருந்து பளபளப்பு வெளியேற்றத்திற்கான வெற்றிட அளவு சுமார் 100 Pa ஆகும், மேலும் பூச்சுகளின் வெற்றிட அளவு 8×10-1~2Pa ஆகும். எனவே, வில் வெளியேற்றத்தைப் பற்றவைத்த பிறகு, உள்வரும் ஆர்கான் வாயுவை விரைவில் குறைக்கவும், பூச்சுக்கு ஏற்ற வரம்பிற்கு வெற்றிட அளவை சரிசெய்யவும்.

7, டைட்டானியம் பூசப்பட்ட அடிப்படை அடுக்கு. அனோடிகலாக சரிந்த சின் உலோக இங்காட்டில் எலக்ட்ரான் பாய்கிறது, இயக்க ஆற்றலை வெப்ப ஆற்றலாக மாற்றுகிறது, வெப்பப்படுத்துவதன் மூலம் சின் உலோகத்தை ஆவியாக்குகிறது, நீராவி அணுக்கள் பணிப்பகுதியை அடைந்து டைட்டானியம் படலத்தை உருவாக்குகின்றன.

8, TiN படிதல். பூச்சு அறைக்கு நைட்ரஜன் வாயு வழங்கப்படுகிறது, நைட்ரஜன் வாயு மற்றும் ஆவியாக்கப்பட்ட அணுக்கள் நைட்ரஜன் மற்றும் டைட்டானியம் அயனிகளாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. சிலுவைக்கு மேலே, குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட எலக்ட்ரான்களின் அடர்த்தியான நீரோடைகளுடன் டைட்டானியம் நீராவி அணுக்களின் நெகிழ்ச்சியற்ற மோதல்களின் அதிக நிகழ்தகவு, உலோக விலகல் விகிதம் 20%~40% வரை அதிகமாக உள்ளது., டைட்டானியம் அயனிகள் எதிர்வினை வாயு நைட்ரஜனுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரியும் வாய்ப்பு அதிகம், நைட்ரைடு மேன்டில் பட அடுக்கைப் பெற படிவு. வெற்று கேத்தோடு துப்பாக்கி இரண்டும் ஒரு ஆவியாதல் மூலமாகும், அயனியாக்கத்தின் மற்றொரு மூலமாகும். பூச்சு செய்யும் போது, ​​சிலுவையைச் சுற்றியுள்ள மின்காந்த சுருளின் மின்னோட்டத்தையும் சரிசெய்ய வேண்டும், எலக்ட்ரான் கற்றை சரிவின் மையத்தில் கவனம் செலுத்த வேண்டும், இதனால், எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் சக்தி அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது.

9, பவர் ஆஃப். படலத்தின் தடிமன் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட படலத்தின் தடிமனை அடைந்த பிறகு, ஆர்க் பவர் சப்ளை, சார்பு பவர் சப்ளை மற்றும் காற்று சப்ளையை அணைக்கவும்.