இண்டியம் டின் ஆக்சைடு (இண்டியம் டின் ஆக்சைடு, ITO என குறிப்பிடப்படுகிறது) என்பது ஒரு பரந்த பட்டை இடைவெளி, அதிக அளவில் டோப் செய்யப்பட்ட n-வகை குறைக்கடத்தி பொருட்கள், அதிக புலப்படும் ஒளி பரிமாற்றம் மற்றும் குறைந்த எதிர்ப்பு பண்புகள் கொண்டது, இதனால் சூரிய மின்கலங்கள், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள், எலக்ட்ரோக்ரோமிக் ஜன்னல்கள், கனிம மற்றும் கரிம மெல்லிய-பட எலக்ட்ரோலுமினென்சென்ஸ், லேசர் டையோட்கள் மற்றும் புற ஊதா கண்டுபிடிப்பான்கள் மற்றும் பிற ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்கள் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. துடிப்புள்ள லேசர் படிவு, தெளித்தல், வேதியியல் நீராவி படிவு, தெளிப்பு வெப்ப சிதைவு, சோல்-ஜெல், ஆவியாதல் போன்ற பல ITO படலங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முறைகள் உள்ளன. ஆவியாதல் முறையில், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுவது எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் ஆகும்.
ITO படலத்தைத் தயாரிப்பதற்கு பல்ஸ்டு லேசர் படிவு, ஸ்பட்டரிங், ரசாயன நீராவி படிவு, ஸ்ப்ரே பைரோலிசிஸ், சோல்-ஜெல், ஆவியாதல் மற்றும் பல வழிகள் உள்ளன, அவற்றில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆவியாதல் முறை எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் ஆகும். ITO படலங்களின் ஆவியாதல் தயாரிப்பு பொதுவாக இரண்டு வழிகளைக் கொண்டுள்ளது: ஒன்று, எதிர்வினை ஆவியாதலுக்கான ஆக்ஸிஜன் வளிமண்டலத்தில் மூலப் பொருளாக உயர்-தூய்மை In, Sn அலாய் பயன்படுத்துதல்; இரண்டாவது, நேரடி ஆவியாதலுக்கான மூலப் பொருளாக உயர்-தூய்மை In2O3:, SnO2 கலவையைப் பயன்படுத்துதல். அதிக கடத்தும் தன்மை மற்றும் குறைந்த எதிர்ப்புடன் படத்தை உருவாக்க, பொதுவாக அதிக அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை அல்லது படத்தின் அடுத்தடுத்த அனீலிங் தேவை தேவைப்படுகிறது. HR ஃபல்லா மற்றும் பலர், குறைந்த வெப்பநிலையில் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் முறையைப் பயன்படுத்தி ITO மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்தனர், படிவு விகிதம், அனீலிங் வெப்பநிலை மற்றும் படத்தின் அமைப்பு, மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளில் பிற செயல்முறை அளவுருக்களின் விளைவை ஆய்வு செய்தனர். படிவு விகிதத்தைக் குறைப்பது, குறைந்த வெப்பநிலையில் வளர்க்கப்பட்ட படலங்களின் கடத்தலை அதிகரிக்கவும், எதிர்ப்பைக் குறைக்கவும் முடியும் என்று அவர்கள் சுட்டிக்காட்டினர். புலப்படும் ஒளியின் கடத்துத்திறன் 92% க்கும் அதிகமாகவும், மின்தடைத்திறன் 7X10-4Ωcm ஆகவும் உள்ளது. அறை வெப்பநிலையில் 350~550℃ இல் வளர்க்கப்பட்ட ITO படலங்களை அவர்கள் அனீல் செய்தனர், மேலும் அனீலிங் வெப்பநிலை அதிகமாக இருந்தால், ITO படலங்களின் படிகப் பண்பு சிறந்தது என்பதைக் கண்டறிந்தனர். 550℃ இல் அனீலிங் செய்த பிறகு படலங்களின் புலப்படும் ஒளி கடத்துத்திறன் 93% ஆகும், மேலும் தானிய அளவு சுமார் 37nm ஆகும். பிளாஸ்மா-உதவி முறை படல உருவாக்கத்தின் போது அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையையும் குறைக்கலாம், இது படலம் உருவாவதில் மிக முக்கியமான காரணியாகும், மேலும் படிகத்தன்மையும் மிக முக்கியமானது. பிளாஸ்மா-உதவி முறை படலம் உருவாக்கத்தின் போது அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையையும் குறைக்கலாம், மேலும் படிவிலிருந்து பெறப்பட்ட ITO படலம் நல்ல செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது. S. Laux மற்றும் பலர் தயாரித்த ITO படலத்தின் மின்தடைத்திறன். மிகவும் குறைவாக உள்ளது, 5*10-”Ωcm, மற்றும் 550nm இல் ஒளியின் உறிஞ்சுதல் 5% க்கும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் படிவின் போது ஆக்ஸிஜன் அழுத்தத்தை மாற்றுவதன் மூலம் படலத்தின் எதிர்ப்பு மற்றும் ஒளியியல் அலைவரிசையும் மாற்றப்படுகின்றன.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: மார்ச்-23-2024