Mchakato wa mipako ya ion ya cathode ya mashimo

Mchakato wa mipako ya ion ya cathode ni kama ifuatavyo.

1, Weka ingo za Kidevu kwenye kukunja.

2, Kuweka kiboreshaji cha kazi.

3, Baada ya kuhama hadi 5 × 10-3Pa, gesi ya argon huletwa kwenye chumba cha mipako kutoka kwa bomba la fedha, na kiwango cha utupu ni karibu 100Pa.

4. Washa nguvu ya upendeleo.

5, Baada ya kuwasha nguvu ya arc ili kuwasha utiririshaji wa cathode iliyo na mashimo. Utiririshaji wa mwanga hutengenezwa kwenye bomba la kitufe, Voltage ya kutokwa ni 800 ~ 1000V, mkondo wa kupandisha arc ni 30 ~ 50A. Kutokana na athari ya cathode ya mashimo ya kutokwa kwa mwanga, msongamano wa juu wa utiririshaji wa sasa wa bomba la panya. hulipua ukuta wa bomba la vantage,Fanya ukuta wa bomba upate joto kwa kasi hadi utoaji wa mtiririko wa elektroni, hali ya kutokwa kutoka kwa kutokwa kwa mwanga hubadilika ghafla hadi kutokwa kwa arc,Voltage ni 40~70V,Sasa ni 80~300A. Joto la bomba la fedha hufika zaidi ya 2300K,Incandescent ya elektroni kutoka chini ya mkondo wa elektroni, na mkondo wa elektroni ya juu, Emits ya risasi. anode.

6, Marekebisho ya kiwango cha utupu. Kiwango cha utupu cha kutokwa kwa mwanga kutoka kwa bunduki ya cathode iliyo na mashimo ni takriban Pa 100, Na kiwango cha utupu cha mipako ni 8 × 10-1 ~ 2Pa. Kwa hiyo, Baada ya kuwashwa kwa ufutaji wa arc, Punguza gesi ya argon inayoingia haraka iwezekanavyo, kurekebisha safu ya utupu kwa safu inayofaa.

7, Titanium plated base layer.Mtiririko wa elektroni kwenye ingot ya chuma ya kidevu iliyoporomoka kwa njia isiyo ya kawaida, Ubadilishaji wa nishati ya kinetiki hadi nishati ya joto, Uvukizi wa chuma cha kidevu kwa kupasha joto, atomi za mvuke hufikia kifaa cha kufanyia kazi ili kuunda filamu ya titani.

8, Utuaji wa TiN. Gesi ya nitrojeni hutolewa kwenye chemba ya mipako, gesi ya nitrojeni na atomi zilizovukizwa hutiwa ioni kuwa ioni za nitrojeni na titani. Juu ya crucible, uwezekano mkubwa wa migongano ya inelastic ya atomi za mvuke wa titani na mikondo mnene ya mtengano wa elektroni wa chini-nishati. 20% ~ 40%.,Ioni za Titanium zina uwezekano mkubwa wa kuguswa kemikali na nitrojeni ya gesi ya mmenyuko,Mtuko wa kupata safu ya filamu ya vazi la nitridi.Bunduki ya cathode yenye mashimo yote ni chanzo cha mvuke,Chanzo kingine cha ionization.Wakati wa mipako, mkondo wa coil ya sumakuumeme kuzunguka crucible inapaswa pia kubadilishwa katikati ya bellapse,Focus the coil, wiani wa mtiririko wa elektroni huongezeka.

9, Power Off.Baada ya unene wa filamu kufikia unene wa filamu uliotanguliwa,Zima usambazaji wa umeme wa arc, usambazaji wa umeme wa Upendeleo na usambazaji wa hewa.