Processen för beläggning av ihålig katodjon är följande:
1. Lägg Chin-tackorna i kollapsen.
2. Montering av arbetsstycket.
3. Efter evakuering till 5 × 10⁻³ Pa införs argongas i beläggningskammaren från silverröret, och vakuumnivån är cirka 100 Pa.
4. Slå på bias-strömmen.
5. Efter att bågströmmen slagits på för att antända den ihåliga katodurladdningen. Glödurladdningen genereras i knappröret. Urladdningsspänningen är 800~1000V, och bågströmmen är 30~50A. På grund av hålkatodeffekten av glimurladdningen, hög glimurladdningsströmtäthet, den höga densiteten av ratjoner i silverröret bombarderar utsiktsrörets vägg, vilket gör att rörväggen snabbt värms upp för elektronflödet, urladdningsläget från glimurladdningen ändras plötsligt till bågurladdning, spänningen är 40~70V, strömmen är 80~300A. Silverrörets temperatur når över 2300K, glödlampan avger en högdensitetsström av bågelektroner från röret och skjuts mot anoden.
6. Justering av vakuumnivå. Vakuumnivån för glimurladdning från hålkatodpistolen är cirka 100 Pa, och vakuumgraden för beläggningen är 8 × 10⁻¹ ~ 2 Pa. Därför, efter tändning av bågurladdningen, minska den inkommande argongasen så snart som möjligt, justera vakuumnivån till ett område som är lämpligt för beläggning.
7. Titanpläterat baslager. Elektronflöde på det anodiskt kollapsade Chin-metallgötet, omvandling av kinetisk energi till termisk energi, avdunstning av Chin-metall genom uppvärmning, ångatomer når arbetsstycket och bildar en titanfilm.
8. Avsättning av TiN. Kvävegas tillförs beläggningskammaren. Kvävegas och förångade atomer joniseras till kväve- och titanjoner. Ovanför degeln ökar sannolikheten för oelastiska kollisioner mellan titanångatomer och täta strömmar av lågenergielektroner. Metalldissociationshastigheten är så hög som 20%~40%. Titanjoner reagerar mer benägna att kemiskt med reaktionsgasen kväve. Avsättningen erhålls för att erhålla ett nitridmantelfilmlager. Den ihåliga katodpistolen är både en förångningskälla och en annan joniseringskälla. Under beläggningen bör strömmen i den elektromagnetiska spolen runt degeln också justeras. Fokusera elektronstrålen till kollapsens centrum, vilket ökar elektronflödets effekttäthet.
9. Stäng av strömmen. När filmtjockleken når den förutbestämda filmtjockleken, stäng av bågströmförsörjningen, biasströmförsörjningen och lufttillförseln.
Publiceringstid: 8 juli 2023