Prosés palapis ion katoda kerung nyaéta kieu:
1, Pasang ingot gado dina runtuhna.
2. Pasang workpiece.
3, Saatos evacuating ka 5 × 10-3Pa, gas argon diwanohkeun kana chamber palapis ti tube pérak, sarta tingkat vakum sabudeureun 100Pa.
4. Hurungkeun kakuatan bias.
5, Saatos ngaktipkeun kakuatan busur pikeun ngahurungkeun katoda kerung discharge.The ngurangan glow dihasilkeun dina tube tombol, tegangan Discharge nyaeta 800 ~ 1000V, The arc-raising ayeuna nyaeta 30 ~ 50A. Kusabab efek katoda kerung tina ngurangan glow, dénsitas tinggi discharge témbok di tube dénsitas tinggi di glow discharge. tina tube vantage, Jieun témbok tube gancang haneut nepi ka émisi aliran éléktron, mode ngurangan tina glow ngurangan robah ngadadak mun arc ngurangan, Tegangan téh 40 ~ 70V, Ayeuna nyaeta 80 ~ 300A.Silver hawa tube ngahontal luhureun 2300K, Incandescent ti aliran dénsitas tube, sarta éléktromagnétik tinggi.
6, adjustment of vakum level.The tingkat vakum pikeun ngurangan glow ti gun katoda kerung nyaeta ngeunaan 100 Pa, Jeung gelar vakum of palapis nyaeta 8 × 10-1 ~ 2Pa.Therefore, Saatos ignition tina ngurangan arc, Ngurangan asupan gas argon pas mungkin, Saluyukeun rentang vakum cocog.
7, titanium plated base layer.Electron ngalir onto nu anodically rubuh ingot logam Chin, Konversi énergi kinétik pikeun énergi termal, Évaporasi logam Chin ku pemanasan, atom uap ngahontal workpiece pikeun ngabentuk pilem titanium.
8, Déposisi gas TiN.Nitrogen geus disadiakeun ka chamber palapis, gas Nitrogén jeung atom ngejat nu ionized kana nitrogén jeung titanium ions.Above crucible nu, kamungkinan luhur tabrakan inelastic tina atom uap titanium jeung aliran padet éléktron low-énergi, The logam dissociation% 0% 2%. leuwih gampang meta kimiawi jeung nitrogén gas réaksi, Déposisi pikeun ménta lapisan film mantel nitride.The gun katoda kerung duanana mangrupa sumber vaporization，Sumber sejen tina ionization.During palapis,Arus tina coil éléktromagnétik sabudeureun crucible kudu ogé disaluyukeun,Fokus sinar éléktron ka puseur runtuhna kakuatan,Thus ngaronjat dénsitas éléktron.
9, Power Off.After ketebalan pilem ngahontal ketebalan pilem predetermined, Pareuman arc catu daya, suplai kakuatan bias jeung suplai hawa.
waktos pos: Jul-08-2023