Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, eo ho thoeng ke ITO) ke lekhalo le pharaletseng la sehlopha, lisebelisoa tsa semiconductor tse ngata haholo, tse nang le li-transmittance tse phahameng tse bonahalang le litšoaneleho tse tlaase tsa resistivity, 'me kahoo li sebelisoa haholo liseleng tsa letsatsi, lipontšo tsa phanele tse bataletseng, lifensetere tsa electrochromic, inorganic le organic thin-film electroluminedescence le lisebelisoa tse ling tsa laser divoltano. mekhoa e mengata ea ho lokisetsa lifilimi tsa ITO, ho kenyelletsa le pulsed laser deposition, sputtering, chemical vapor deposition, spray decomposition ea mocheso, sol-gel, evaporation, joalo-joalo Har'a mokhoa oa ho tsoa mouoane, o sebelisoang ka ho fetisisa ke electron beam evaporation.
Ho na le mekhoa e mengata ea ho lokisa filimi ea ITO, ho kenyelletsa le pulsed laser deposition, sputtering, chemical vapor deposition, spray pyrolysis, sol-gel, evaporation joalo-joalo, eo mokhoa o sebelisoang ka ho fetisisa oa mouoane e leng elektrone beam evaporation. Ho lokisoa ha mouoane oa lifilimi tsa ITO hangata ho na le litsela tse peli: e 'ngoe ke ts'ebeliso ea bohloeki bo phahameng In, Sn alloy e le mohloli oa lintho tse bonahalang, sepakapakeng sa oksijene bakeng sa ho fetoha mouoane; ea bobeli ke tšebeliso ea bohloeki bo phahameng ba In2O3 :, SnO2 motsoako e le mohloli oa mohloli oa mouoane o tobileng. E le ho etsa filimi e nang le phetisetso e phahameng le e tlaase ea resistivity, ka kakaretso e hloka mocheso o phahameng oa substrate kapa tlhokahalo ea annealing e latelang ea filimi. HR Fallah et al. o sebelisitse mokhoa oa elektrone beam evaporation ka mocheso o tlase ho kenya lifilimi tse tšesaane tsa ITO, ho ithuta phello ea sekhahla sa deposition, mocheso oa annealing le likarolo tse ling tsa tšebetso sebopehong sa filimi, thepa ea motlakase le ea optical. Ba bontšitse hore ho theola sekhahla sa deposition ho ka eketsa phetisetso le ho fokotsa ho hanyetsa ha lifilimi tse ntseng li hola ka mocheso o tlase. Ho fetisoa ha leseli le bonahalang ho feta 92%, 'me resistivity ke 7X10-4Ωcm. ba ile ba thibela lifilimi tsa ITO tse hōlileng mochesong oa kamore ho 350 ~ 550 ℃, 'me ba fumana hore ha mocheso oa mocheso o phahame, ho na le thepa e ntle ea kristale ea lifilimi tsa ITO. khanya e bonahalang ea ho fetisa lifilimi ka mor'a hore annealing ho 550 ℃ ke 93%, 'me boholo ba lijo-thollo bo ka bang 37nm. mokhoa o thusoang ke plasma o ka boela oa fokotsa mocheso oa substrate nakong ea ho thehoa ha filimi, e leng ntho ea bohlokoa ka ho fetisisa ho thehoeng ha filimi, 'me crystallinity ke eona ea bohlokoa ka ho fetisisa. Mokhoa o thusoang ke plasma o ka boela oa fokotsa mocheso oa substrate nakong ea ho etsoa ha filimi, 'me filimi ea ITO e fumanoang ho tloha deposition e na le ts'ebetso e ntle. ho hanyetsa ha filimi ea ITO e lokiselitsoeng ke S. Laux et al. e tlase haholo, 5 * 10- ”Ωcm, mme ho monya ha leseli ho 550nm ho tlase ho 5%, mme ho hanyetsa ha filimi le bandwidth ea optical le tsona li fetotsoe ka ho fetola khatello ea oksijene nakong ea deposition.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mar-23-2024