Јонски премазмашина потиче из теорије коју је предложио Д. М. Матокс 1960-их, и одговарајући експерименти су почели у то време; До 1971. године, Чемберс и други су објавили технологију јонског пресвлачења електронским снопом; Технологија реактивног испаравања (ARE) је истакнута у извештају Буншаха 1972. године, када су произведени супертврди типови филмова као што су TiC и TiN; Такође 1972. године, Смит и Моли су усвојили технологију шупље катоде у процесу премазивања. До 1980-их, јонско пресвлачење у Кини је коначно достигло ниво индустријске примене, а процеси премазивања као што су вакуумско вишелучно јонско пресвлачење и јонско пресвлачење лучним пражњењем су се сукцесивно појављивали.
Читав радни процес вакуумског јонског пресвлачења је следећи: прво,пумпавакуумска комора, а затимчекајвакуумски притисак на 4X10⁻³ Паили боље, потребно је повезати извор високог напона и изградити нискотемпературну плазмену област нисконапонског пражњења гаса између подлоге и испаривача. Повезати електроду подлоге са негативним једносмерним високим напоном од 5000V да би се формирало пражњење сијања катоде. Јони инертног гаса се генеришу у близини негативног подручја сијања. Они улазе у тамно подручје катоде и убрзавају се електричним пољем и бомбардују површину подлоге. Ово је процес чишћења, а затим улазе у процес премазивања. Кроз ефекат бомбардовања загревања, неки материјали за превлаку испаравају. Плазменска област улази у протоне, судара се са електронима и јонима инертног гаса, а мали део њих се јонизује. Ови јонизовани јони са високом енергијом ће бомбардовати површину филма и донекле побољшати квалитет филма.
Принцип вакуумског јонског пресвлачења је следећи: у вакуумској комори, користећи феномен гасног пражњења или јонизовани део испареног материјала, под бомбардовањем јона испареног материјала или гасних јона, ове испарене супстанце или њихови реактанти се истовремено наносе на подлогу да би се добио танак филм. Јонски премазмашинакомбинује вакуумско испаравање, плазма технологију и гасну сијајућу пражњење, што не само да побољшава квалитет филма, већ и проширује опсег примене филма. Предности овог процеса су јака дифракција, добра адхезија филма и различити материјали за премаз. Принцип јонског пресвлачења први је предложио Д. М. Матокс. Постоји много врста јонског пресвлачења. Најчешћи тип је загревање испаравањем, укључујући отпорно загревање, загревање електронским снопом, загревање плазма електронским снопом, високофреквентно индукционо загревање и друге методе загревања.
Време објаве: 14. фебруар 2023.