Процес јонског премазивања шупље катоде је следећи:
1. Ставите Чин инготе у колапс.
2, Монтирање радног комада.
3. Након вакуумирања на 5×10⁻³Па, аргонски гас се уводи у комору за премазивање из сребрне цеви, а ниво вакуума је око 100Па.
4. Укључите преднапону.
5. Након укључивања лука за паљење пражњења шупље катоде, у дугмастој цеви се генерише жарни пражњење. Напон пражњења је 800~1000V, а струја за појачавање лука је 30~50A. Због ефекта жарног пражњења шупље катоде, велика густина струје жарног пражњења. Висока густина јона у сребрној цеви бомбардује зид цеви. Због тога се зид цеви брзо загрева, што доводи до емисије тока електрона. Режим пражњења се нагло мења из жарног пражњења у лучно пражњење. Напон је 40~70V, а струја је 80~300A. Температура сребрне цеви достиже преко 2300K. Ужарена сијалица емитује ток електрона лука велике густине из цеви и избацује их ка аноди.
6. Подешавање нивоа вакуума. Ниво вакуума за жарно пражњење из шупље катодне ватре је око 100 Па, а степен вакуума за премазивање је 8×10⁻¹~2Па. Стога, након паљења лучног пражњења, што пре смањите довод аргона и подесите ниво вакуума на опсег погодан за премазивање.
7. Основни слој пресвучен титанијумом. Проток електрона на анодно урушени ингот метала Чин, претварање кинетичке енергије у топлотну енергију, испаравање метала Чин загревањем, атоми паре доспевају до радног предмета и формирају титанијумски филм.
8. Таложење TiN. Азот се доводи у комору за премазивање. Азот и испарени атоми се јонизују у јоне азота и титанијума. Изнад лончића, већа је вероватноћа нееластичних судара атома титанијумске паре са густим токовима електрона ниске енергије. Брзина дисоцијације метала је висока и до 20%~40%. Јони титанијума ће вероватније хемијски реаговати са реакционим гасом азотом. Таложење ради добијања слоја нитридног плашта. Шупљи катодни топ је и извор испаравања и још један извор јонизације. Током премазивања, струју електромагнетног калема око лончића такође треба подесити. Фокусирајте електронски сноп на центар колапса. Тиме се повећава густина снаге електронског тока.
9. Искључивање. Након што дебљина филма достигне унапред одређену дебљину филма, искључите напајање лука, напајање преднапона и довод ваздуха.
Време објаве: 08.07.2023.