① Kontrollueshmëri dhe përsëritshmëri e mirë e trashësisë së filmit
Nëse trashësia e filmit mund të kontrollohet në një vlerë të paracaktuar quhet kontrollueshmëri e trashësisë së filmit. Trashësia e kërkuar e filmit mund të përsëritet shumë herë, gjë që quhet përsëritshmëri e trashësisë së filmit. Meqenëse rryma e shkarkimit dhe rryma e synuar e veshjes me spërkatje vakumi mund të kontrollohen veçmas, trashësia e filmit të spërkatur është e kontrollueshme dhe filmi me trashësi të paracaktuar mund të depozitohet në mënyrë të besueshme. Përveç kësaj, veshja me spërkatje mund të sigurojë një film me trashësi uniforme në një sipërfaqe të madhe.
② Ngjitje e fortë midis filmit dhe substratit
Energjia e atomeve të spërkatur është 1-2 rend madhësie më e lartë se ajo e atomeve të avulluar. Shndërrimi i energjisë i atomeve të spërkatur me energji të lartë të depozituar në substrat është shumë më i lartë se ai i atomeve të avulluar, gjë që gjeneron nxehtësi më të lartë dhe rrit ngjitjen midis atomeve të spërkatur dhe substratit. Përveç kësaj, disa atome të spërkatur me energji të lartë prodhojnë shkallë të ndryshme injeksioni, duke formuar një shtresë pseudodifuzioni në substrat. Përveç kësaj, substrati pastrohet dhe aktivizohet gjithmonë në rajonin e plazmës gjatë procesit të formimit të filmit, i cili largon atomet e spërkatur me ngjitje të dobët dhe pastron dhe aktivizon sipërfaqen e substratit. Prandaj, filmi i spërkatur ka ngjitje të fortë në substrat.
③ Mund të përgatitet film i ri me material të ndryshëm nga objektivi
Nëse gjatë spërkatjes futet gaz reaktiv për ta bërë atë të reagojë me objektivin, mund të merret një film i ri material krejtësisht i ndryshëm nga objektivi. Për shembull, silici përdoret si objektiv spërkatjeje, dhe oksigjeni dhe argoni futen së bashku në dhomën e vakumit. Pas spërkatjes, mund të merret filmi izolues SiOz. Duke përdorur titanin si objektiv spërkatjeje, azoti dhe argoni futen së bashku në dhomën e vakumit, dhe filmi i fazës TiN i ngjashëm me arin mund të merret pas spërkatjes.
④ Pastërti e lartë dhe cilësi e mirë e filmit
Meqenëse nuk ka përbërës të tretësirës në pajisjen e përgatitjes së filmit me spërkatje, përbërësit e materialit ngrohës të tretësirës nuk do të përzihen në shtresën e filmit me spërkatje. Disavantazhet e veshjes me spërkatje janë se shpejtësia e formimit të filmit është më e ngadaltë se ajo e veshjes me avullim, temperatura e substratit është më e lartë, është e lehtë të ndikohet nga gazi i papastërtisë dhe struktura e pajisjes është më komplekse.
Ky artikull është botuar nga Guangdong Zhenhua, një prodhues ipajisje për veshjen me vakum
Koha e postimit: 09 Mars 2023