Krahasuar me teknologjitë e tjera të veshjes, veshja me spërkatje magnetronike karakterizohet nga karakteristikat e mëposhtme: parametrat e punës kanë një gamë të gjerë rregullimi dinamik të shpejtësisë së depozitimit të veshjes dhe trashësisë (gjendja e zonës së veshur) mund të kontrollohet lehtësisht, dhe nuk ka kufizime projektimi në gjeometrinë e objektivit magnetron për të siguruar uniformitetin e veshjes; nuk ka problem të grimcave të pikave në shtresën e filmit; pothuajse të gjitha metalet, lidhjet dhe qeramika mund të shndërrohen në materiale të synuara; dhe materiali i synuar mund të prodhohet me anë të spërkatjes magnetronike DC ose RF, e cila mund të gjenerojë veshje metali ose lidhjesh të pastra me raport të saktë, si dhe filma reaktivë metalikë me pjesëmarrje gazi. Nëpërmjet spërkatjes DC ose RF, është e mundur të gjenerohen veshje metali ose lidhjesh të pastra me raporte të sakta dhe konstante, si dhe filma reaktivë metalikë me pjesëmarrje gazi, për të përmbushur kërkesat e diversitetit të filmit të hollë dhe saktësisë së lartë. Parametrat tipikë të procesit për veshjen me spërkatje magnetronike janë: presioni i punës prej 0.1Pa; tensioni i synuar prej 300~700V; dendësia e fuqisë së synuar prej 1~36W/cm².
Karakteristikat specifike të spërkatjes me magnetron janë:
(1) Shkallë e lartë depozitimi. Për shkak të përdorimit të elektrodave magnetron, mund të merret një rrymë shumë e madhe jonike e bombardimit të shënjestrës, kështu që shkalla e gdhendjes me spërkatje në sipërfaqen e shënjestrës dhe shkalla e depozitimit të filmit në sipërfaqen e substratit janë të dyja shumë të larta.
(2) Efikasitet i lartë i fuqisë. Probabiliteti i përplasjes së elektroneve me energji të ulët dhe atomeve të gazit është i lartë, kështu që shkalla e disociimit të gazit rritet shumë. Prandaj, impedanca e gazit të shkarkimit (ose plazmës) zvogëlohet shumë. Prandaj, spërkatja magnetronike DC krahasuar me spërkatjen dipolare DC, edhe nëse presioni i punës zvogëlohet nga 1~10Pa në 10-210-1Pa, tensioni i spërkatjes zvogëlohet gjithashtu nga mijëra volt në qindra volt, efikasiteti i spërkatjes dhe shkalla e depozitimit rriten me urdhra madhësie.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 01 Dhjetor 2023