අයන ආලේපනයයන්ත්රය 1960 ගණන්වල DM Mattox විසින් යෝජනා කරන ලද න්යායෙන් ආරම්භ වූ අතර, ඒ කාලයේ දී අනුරූප අත්හදා බැලීම් ආරම්භ විය; 1971 වන තෙක්, Chambers සහ අනෙකුත් අය ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ අයන ආලේපන තාක්ෂණය ප්රකාශයට පත් කළහ; 1972 දී TiC සහ TiN වැනි සුපිරි-දෘඩ පටල වර්ග නිෂ්පාදනය කරන ලද විට, ප්රතික්රියාශීලී වාෂ්පීකරණ ආලේපන (ARE) තාක්ෂණය Bunshah වාර්තාවේ පෙන්වා දෙන ලදී; එසේම 1972 දී, ස්මිත් සහ මොලී ආලේපන ක්රියාවලියේදී හිස් කැතෝඩ තාක්ෂණය භාවිතා කළහ. 1980 ගණන් වන විට, චීනයේ අයන ආලේපනය අවසානයේ කාර්මික යෙදුම් මට්ටමට ළඟා වූ අතර, රික්ත බහු-චාප අයන ආලේපනය සහ චාප-විසර්ජන අයන ආලේපනය වැනි ආලේපන ක්රියාවලීන් අනුක්රමිකව දර්ශනය විය.
රික්ත අයන ආලේපනයේ සම්පූර්ණ ක්රියාකාරී ක්රියාවලිය පහත පරිදි වේ: පළමුව,පොම්පයරික්තක කුටිය, සහ පසුවඉන්නරික්ත පීඩනය 4X10 ⁻ ³ Pa දක්වාහෝ වඩා හොඳ, අධි වෝල්ටීයතා බල සැපයුම සම්බන්ධ කිරීම සහ උපස්ථරය සහ වාෂ්පකාරකය අතර අඩු වෝල්ටීයතා විසර්ජන වායුවේ අඩු උෂ්ණත්ව ප්ලාස්මා ප්රදේශයක් ගොඩනැගීම අවශ්ය වේ. උපස්ථර ඉලෙක්ට්රෝඩය 5000V DC සෘණ අධි වෝල්ටීයතාවයකින් සම්බන්ධ කර කැතෝඩයේ දිලිසෙන විසර්ජනයක් සාදයි. නිෂ්ක්රීය වායු අයන සෘණ දිලිසෙන ප්රදේශය අසල ජනනය වේ. ඒවා කැතෝඩ අඳුරු ප්රදේශයට ඇතුළු වන අතර විද්යුත් ක්ෂේත්රය මගින් වේගවත් කර උපස්ථරයේ මතුපිටට බෝම්බ හෙලයි. මෙය පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියක් වන අතර පසුව ආලේපන ක්රියාවලියට ඇතුළු වේ. බෝම්බ හෙලීමේ උණුසුමෙහි බලපෑම හරහා, සමහර ආලේපන ද්රව්ය වාෂ්ප වී යයි. ප්ලාස්මා ප්රදේශය ප්රෝටෝන වලට ඇතුළු වේ, ඉලෙක්ට්රෝන සහ නිෂ්ක්රීය වායු අයන සමඟ ගැටෙන අතර ඒවායින් කුඩා කොටසක් අයනීකරණය වේ, ඉහළ ශක්තියක් සහිත මෙම අයනීකෘත අයන පටල මතුපිටට බෝම්බ හෙලන අතර චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය යම් දුරකට වැඩි දියුණු කරයි.
රික්ත අයන ආලේපනයේ මූලධර්මය නම්: රික්තක කුටිය තුළ, වායු විසර්ජන සංසිද්ධිය හෝ වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්යයේ අයනීකෘත කොටස භාවිතා කරමින්, වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්ය අයන හෝ වායු අයනවල බෝම්බ හෙලීම යටතේ, තුනී පටලයක් ලබා ගැනීම සඳහා මෙම වාෂ්පීකරණය වූ ද්රව්ය හෝ ඒවායේ ප්රතික්රියාකාරක උපස්ථරය මත එකවර තැන්පත් කරයි. අයන ආලේපනයයන්ත්රයරික්ත වාෂ්පීකරණය, ප්ලාස්මා තාක්ෂණය සහ වායු දිලිසීමේ විසර්ජනය ඒකාබද්ධ කරන අතර එමඟින් පටලයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු වනවා පමණක් නොව, පටලයේ යෙදුම් පරාසය පුළුල් වේ. මෙම ක්රියාවලියේ වාසි වන්නේ ශක්තිමත් විවර්තනය, හොඳ පටල ඇලවීම සහ විවිධ ආලේපන ද්රව්ය ය. අයන ආලේපනයේ මූලධර්මය මුලින්ම යෝජනා කරන ලද්දේ DM Mattox විසිනි. අයන ආලේපන වර්ග බොහොමයක් තිබේ. වඩාත් සුලභ වර්ගය වන්නේ ප්රතිරෝධක උණුසුම, ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ උණුසුම, ප්ලාස්මා ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ උණුසුම, අධි-සංඛ්යාත ප්රේරක උණුසුම සහ අනෙකුත් තාපන ක්රම ඇතුළුව වාෂ්පීකරණ උණුසුමයි.
පළ කිරීමේ කාලය: පෙබරවාරි-14-2023