කුහර කැතෝඩ අයන ආලේපන ක්‍රියාවලිය

කුහර කැතෝඩ අයන ආලේපන ක්‍රියාවලිය පහත පරිදි වේ:

1, කඩා වැටීම තුළ චින් ඉන්ගෝට් දමන්න.

2, වැඩ කොටස සවි කිරීම.

3, 5×10-3Pa දක්වා ඉවත් කිරීමෙන් පසු, රිදී නළයෙන් ආගන් වායුව ආලේපන කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලබන අතර, රික්ත මට්ටම 100Pa පමණ වේ.

4, නැඹුරු බලය ක්‍රියාත්මක කරන්න.

5, කුහර කැතෝඩ විසර්ජනය දැල්වීම සඳහා චාප බලය ක්‍රියාත්මක කිරීමෙන් පසු. බොත්තම් නළය තුළ දිලිසෙන විසර්ජනය ජනනය වේ, විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය 800~1000V වේ, චාප-එසවීමේ ධාරාව 30~50A වේ. දිලිසෙන විසර්ජනයේ කුහර කැතෝඩ බලපෑම හේතුවෙන්, ඉහළ දිලිසෙන විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය, රිදී නළයේ මී අයනවල ඉහළ ඝනත්වය වාසිදායක නළයේ බිත්තියට පහර දෙයි, ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහය විමෝචනය වන තෙක් නල බිත්තිය වේගයෙන් උණුසුම් කරන්න, දිලිසෙන විසර්ජනයෙන් විසර්ජන මාදිලිය චාප විසර්ජනයට හදිසි වෙනස් වීම, වෝල්ටීයතාව 40~70V වේ, ධාරාව 80~300A වේ. රිදී නළ උෂ්ණත්වය 2300K ට වඩා වැඩි වේ, තාපදීප්ත, නළයෙන් චාප ඉලෙක්ට්‍රෝනවල ඉහළ ඝනත්ව ප්‍රවාහයක් විමෝචනය කර ඇනෝඩයට වෙඩි තබයි.

6, රික්ත මට්ටම සකස් කිරීම. කුහර කැතෝඩ තුවක්කුවෙන් දිලිසෙන විසර්ජනය සඳහා රික්ත මට්ටම 100 Pa පමණ වන අතර, ආලේපනයේ රික්ත උපාධිය 8×10-1~2Pa වේ. එබැවින්, චාප විසර්ජනය ජ්වලනය කිරීමෙන් පසු, එන ආගන් වායුව හැකි ඉක්මනින් අඩු කරන්න, රික්ත මට්ටම ආලේපනය සඳහා සුදුසු පරාසයකට සකසන්න.

7, ටයිටේනියම් ආලේපිත පාදක ස්ථරය. ඇනෝඩිකව කඩා වැටුණු චින් ලෝහ ඉන්ගෝට් මතට ඉලෙක්ට්‍රෝන ගලා යාම, චාලක ශක්තිය තාප ශක්තිය බවට පරිවර්තනය කිරීම, රත් කිරීමෙන් චින් ලෝහ වාෂ්පීකරණය, වාෂ්ප පරමාණු වැඩ කොටසට ළඟා වී ටයිටේනියම් පටලයක් සාදයි.

8, TiN තැන්පත් කිරීම. නයිට්‍රජන් වායුව ආලේපන කුටියට සපයනු ලැබේ, නයිට්‍රජන් වායුව සහ වාෂ්පීකරණය වූ පරමාණු නයිට්‍රජන් සහ ටයිටේනියම් අයන බවට අයනීකරණය වේ. කබොලට ඉහළින්, අඩු ශක්ති ඉලෙක්ට්‍රෝන ඝන ප්‍රවාහ සහිත ටයිටේනියම් වාෂ්ප පරමාණු අනම්‍ය ගැටුම් ඇතිවීමේ සම්භාවිතාව වැඩි වේ, ලෝහ විඝටන අනුපාතය 20%~40% තරම් ඉහළ ය., ටයිටේනියම් අයන ප්‍රතික්‍රියා වායු නයිට්‍රජන් සමඟ රසායනිකව ප්‍රතික්‍රියා කිරීමට වැඩි ඉඩක් ඇත, නයිට්‍රයිඩ් මැන්ටල් පටල ස්ථරයක් ලබා ගැනීම සඳහා තැන්පත් කිරීම. කුහර කැතෝඩ තුවක්කුව වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයක් වන අතර, අයනීකරණයේ තවත් ප්‍රභවයකි. ආලේපනය අතරතුර, කබොල වටා ඇති විද්‍යුත් චුම්භක දඟරයේ ධාරාව ද සකස් කළ යුතුය, ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භය බිඳවැටීමේ මැදට යොමු කරන්න, මේ අනුව, ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහයේ බල ඝනත්වය වැඩි වේ.

9, විදුලිය විසන්ධි කරන්න. පටල ඝණකම කලින් තීරණය කළ පටල ඝණකමට ළඟා වූ පසු, චාප බල සැපයුම, පක්ෂග්‍රාහී බල සැපයුම සහ වායු සැපයුම අක්‍රිය කරන්න.