آئن ڪوٽنگمشين 1960 جي ڏهاڪي ۾ ڊي ايم ميٽوڪس پاران تجويز ڪيل نظريي مان پيدا ٿيو، ۽ ان وقت لاڳاپيل تجربا شروع ٿيا؛ 1971 تائين، چيمبرز ۽ ٻين اليڪٽران بيم آئن پليٽنگ جي ٽيڪنالاجي شايع ڪئي؛ رد عمل واري بخارات واري پليٽنگ (ARE) ٽيڪنالاجي کي 1972 ۾ بنشاهه رپورٽ ۾ اشارو ڪيو ويو هو، جڏهن سپر-هارڊ فلم جا قسم جهڙوڪ TiC ۽ TiN پيدا ڪيا ويا هئا؛ پڻ 1972 ۾، سمٿ ۽ مولي ڪوٽنگ جي عمل ۾ هولو ڪيٿوڊ ٽيڪنالاجي کي اختيار ڪيو. 1980 جي ڏهاڪي تائين، چين ۾ آئن پليٽنگ آخرڪار صنعتي ايپليڪيشن جي سطح تي پهچي چڪي هئي، ۽ ڪوٽنگ جي عمل جهڙوڪ ويڪيوم ملٽي آرڪ آئن پليٽنگ ۽ آرڪ-ڊسچارج آئن پليٽنگ مسلسل ظاهر ٿيا هئا.
ويڪيوم آئن پليٽنگ جو سڄو ڪم ڪندڙ عمل هن ريت آهي: پهريون،پمپويڪيوم چيمبر، ۽ پوءِانتظار ڪريوويڪيوم پريشر 4X10 ⁻ ³ Pa تائينيا بهتر، اهو ضروري آهي ته هاءِ وولٽيج پاور سپلاءِ کي ڳنڍيو وڃي ۽ سبسٽريٽ ۽ ايواپوريٽر جي وچ ۾ گهٽ وولٽيج ڊسچارج گيس جو گهٽ درجه حرارت پلازما ايريا ٺاهيو وڃي. ڪيٿوڊ جو گلو ڊسچارج ٺاهڻ لاءِ سبسٽريٽ اليڪٽروڊ کي 5000V DC منفي هاءِ وولٽيج سان ڳنڍيو. انرٽ گيس آئن منفي گلو ايريا جي ويجهو پيدا ٿين ٿا. اهي ڪيٿوڊ ڊارڪ ايريا ۾ داخل ٿين ٿا ۽ برقي ميدان ذريعي تيز ٿين ٿا ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي بمباري ڪن ٿا. هي هڪ صفائي جو عمل آهي، ۽ پوءِ ڪوٽنگ جي عمل ۾ داخل ٿين ٿا. بمباري جي گرمائش جي اثر ذريعي، ڪجهه پليٽنگ مواد بخارات بڻجي ويندا آهن. پلازما ايريا پروٽان ۾ داخل ٿئي ٿو، اليڪٽران ۽ انرٽ گيس آئن سان ٽڪرائجي ٿو، ۽ انهن جو هڪ ننڍڙو حصو آئنائيز ٿئي ٿو، اهي آئنائيز آئن اعليٰ توانائي سان فلم جي مٿاڇري تي بمباري ڪندا ۽ ڪجهه حد تائين فلم جي معيار کي بهتر بڻائيندا.
ويڪيوم آئن پليٽنگ جو اصول هي آهي: ويڪيوم چيمبر ۾، گئس خارج ٿيڻ واري رجحان يا بخار ٿيل مواد جي آئنائيز ٿيل حصي کي استعمال ڪندي، بخار ٿيل مواد جي آئن يا گئس آئن جي بمباري هيٺ، هڪ ئي وقت انهن بخار ٿيل مادن يا انهن جي ري ايڪٽنٽ کي سبسٽريٽ تي جمع ڪري هڪ پتلي فلم حاصل ڪندا آهن. آئن ڪوٽنگمشينويڪيوم وانپيريشن، پلازما ٽيڪنالاجي ۽ گيس گلو ڊسچارج کي گڏ ڪري ٿو، جيڪو نه رڳو فلم جي معيار کي بهتر بڻائي ٿو، پر فلم جي ايپليڪيشن رينج کي پڻ وڌائي ٿو. هن عمل جا فائدا مضبوط ڊفرڪشن، سٺي فلم چپکڻ، ۽ مختلف ڪوٽنگ مواد آهن. آئن پليٽنگ جو اصول پهريون ڀيرو ڊي ايم ميٽوڪس پاران تجويز ڪيو ويو هو. آئن پليٽنگ جا ڪيترائي قسم آهن. سڀ کان عام قسم وانپيريشن هيٽنگ آهي، جنهن ۾ مزاحمتي هيٽنگ، اليڪٽران بيم هيٽنگ، پلازما اليڪٽران بيم هيٽنگ، هاءِ فريڪوئنسي انڊڪشن هيٽنگ ۽ ٻيا هيٽنگ طريقا شامل آهن.
پوسٽ جو وقت: فيبروري-14-2023