خالي ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ جو عمل

خالي ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ جو عمل هن ريت آهي:

1، چن جي انگٽس کي ڦاٽڻ ۾ وجھو.

2، ورڪ پيس کي چڙهڻ.

3، 5×10-3Pa تائين خالي ڪرڻ کان پوءِ، آرگن گيس کي چانديءَ جي ٽيوب مان ڪوٽنگ چيمبر ۾ داخل ڪيو ويندو آهي، ۽ ويڪيوم ليول تقريباً 100Pa هوندو آهي.

4، بائس پاور آن ڪريو.

5، آرڪ پاور آن ڪرڻ کان پوءِ هولو ڪيٿوڊ ڊسچارج کي باهه ڏيڻ لاءِ. بٽڻ ٽيوب ۾ گلو ڊسچارج پيدا ٿئي ٿو، ڊسچارج وولٽيج 800~1000V آهي، آرڪ کي وڌائڻ وارو ڪرنٽ 30~50A آهي. گلو ڊسچارج جي هولو ڪيٿوڊ اثر جي ڪري، گلو ڊسچارج ڪرنٽ جي کثافت وڌيڪ آهي، سلور ٽيوب ۾ چوٿون آئن جي وڏي کثافت وينٽيج ٽيوب جي ڀت تي بمباري ڪري ٿي، ٽيوب جي ڀت کي تيزيءَ سان گرم ڪري ٿي جيستائين اليڪٽران جي وهڪري جو اخراج نه ٿئي، گلو ڊسچارج کان ڊسچارج موڊ اوچتو آرڪ ڊسچارج ۾ تبديل ٿئي ٿو، وولٽيج 40~70V آهي، ڪرنٽ 80~300A آهي. سلور ٽيوب جو گرمي پد 2300K کان مٿي پهچي ٿو، تاپديپت، ٽيوب مان آرڪ اليڪٽرانن جو هڪ اعليٰ کثافت وارو وهڪرو خارج ڪري ٿو، ۽ انوڊ ڏانهن شاٽ ڪيو وڃي ٿو.

6، ويڪيوم ليول جي ترتيب. هولو ڪيٿوڊ گن مان چمڪ خارج ٿيڻ لاءِ ويڪيوم ليول لڳ ڀڳ 100 Pa آهي، ۽ ڪوٽنگ جي ويڪيوم ڊگري 8×10-1~2Pa آهي. تنهن ڪري، آرڪ ڊسچارج جي اگنيشن کان پوءِ، ايندڙ آرگن گيس کي جلد کان جلد گهٽايو، ويڪيوم ليول کي ڪوٽنگ لاءِ مناسب حد تائين ترتيب ڏيو.

7، ٽائيٽينيم پليٽ ٿيل بنيادي پرت. اينوڊيڪل طور تي ٽٽل چن ڌاتو جي انگوٽ تي اليڪٽران جو وهڪرو، حرڪتي توانائي جو حرارتي توانائي ۾ تبديلي، گرم ڪرڻ سان چن ڌاتو جو بخارات، بخار جا ايٽم ورڪ پيس تائين پهچي ٽائيٽينيم فلم ٺاهيندا آهن.

8، TiN جو جمع. ڪوٽنگ چيمبر ۾ نائٽروجن گيس فراهم ڪئي ويندي آهي، نائٽروجن گيس ۽ بخارات ٿيل ايٽم نائٽروجن ۽ ٽائيٽينيم آئن ۾ آئنائيز ڪيا ويندا آهن. ڪروسيبل جي مٿان، گهٽ توانائي واري اليڪٽرانن جي گهاٽي وهڪري سان ٽائيٽينيم وانپ ايٽم جي غير لچڪدار ٽڪراءَ جو امڪان وڌيڪ هوندو آهي، ڌاتو جي الڳ ٿيڻ جي شرح 20٪ ~ 40٪ تائين هوندي آهي.، ٽائيٽينيم آئن رد عمل گيس نائٽروجن سان ڪيميائي طور تي رد عمل ڪرڻ جو امڪان وڌيڪ هوندو آهي، نائٽرائڊ مينٽل فلم پرت حاصل ڪرڻ لاءِ جمع. خالي ڪيٿوڊ گن ٻئي هڪ بخارات جو ذريعو آهي، آئنائيزيشن جو ٻيو ذريعو. ڪوٽنگ دوران، ڪروسيبل جي چوڌاري برقي مقناطيسي ڪوئل جي ڪرنٽ کي پڻ ترتيب ڏيڻ گهرجي، اليڪٽران بيم کي تباهي جي مرڪز تي ڌيان ڏيو، اهڙيءَ طرح، اليڪٽران جي وهڪري جي طاقت جي کثافت وڌي ويندي آهي.

9، پاور آف. فلم جي ٿولهه اڳواٽ مقرر ٿيل فلم جي ٿولهه تائين پهچڻ کان پوءِ، آرڪ پاور سپلائي، تعصب پاور سپلائي ۽ ايئر سپلائي بند ڪريو.