آئي ٽي او ڪوٽنگ جو تعارف

انڊيم ٽين آڪسائيڊ (انڊيم ٽين آڪسائيڊ، جنهن کي ITO چيو ويندو آهي) هڪ وسيع بينڊ گيپ آهي، وڏي پيماني تي ڊوپ ٿيل اين-قسم جي سيمي ڪنڊڪٽر مواد، جنهن ۾ اعليٰ نظر ايندڙ روشني ٽرانسميشن ۽ گهٽ مزاحمتي خاصيتون آهن، ۽ اهڙيءَ طرح شمسي سيلز، فليٽ پينل ڊسپلي، اليڪٽرو ڪرومڪ ونڊوز، غير نامياتي ۽ نامياتي پتلي فلم اليڪٽرولومينسينس، ليزر ڊائيوڊ ۽ الٽراوائليٽ ڊيڪٽر ۽ ٻين فوٽووولٽڪ ڊوائيسز وغيره ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي. ITO فلمن جي تياري جا ڪيترائي طريقا آهن، جن ۾ پلسڊ ليزر ڊيپوزيشن، اسپٽرنگ، ڪيميڪل وانپ ڊيپوزيشن، اسپري ٿرمل ڊڪپوزيشن، سول-جيل، وانپيشن وغيره شامل آهن. وانپيشن جي طريقي ۾، سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ اليڪٽران بيم وانپيشن آهي.

آئي ٽي او فلم تيار ڪرڻ جا ڪيترائي طريقا آهن، جن ۾ نبض ٿيل ليزر جمع ڪرڻ، اسپٽرنگ، ڪيميڪل وانپ جمع ڪرڻ، اسپري پائروليسس، سول-جيل، بخارات ۽ ٻيا شامل آهن، جن مان سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ بخارات جو طريقو اليڪٽران بيم بخارات آهي. آئي ٽي او فلمن جي بخارات جي تياري جا عام طور تي ٻه طريقا آهن: هڪ آهي اعليٰ پاڪائي واري ان، ايس اين مصر کي ماخذ مواد طور استعمال ڪرڻ، آڪسيجن جي ماحول ۾ رد عمل بخارات لاءِ؛ ٻيو آهي اعليٰ پاڪائي واري ان2O3:، ايس اين او 2 مرکب کي سڌو بخارات لاءِ ماخذ مواد طور استعمال ڪرڻ. فلم کي اعليٰ ٽرانسميشن ۽ گهٽ مزاحمت سان ٺاهڻ لاءِ، عام طور تي هڪ اعليٰ سبسٽريٽ گرمي پد يا فلم جي بعد ۾ اينيلنگ جي ضرورت جي ضرورت آهي. ايڇ آر فلا ۽ ٻين اليڪٽران بيم بخارات جو طريقو گهٽ درجه حرارت تي استعمال ڪيو ته جيئن آئي ٽي او پتلي فلمن کي جمع ڪري سگهجي، جمع ڪرڻ جي شرح، اينيلنگ جي درجه حرارت ۽ فلم جي جوڙجڪ، برقي ۽ آپٽيڪل ملڪيتن تي ٻين عمل جي پيرا ميٽرز جو اثر مطالعو ڪري سگهجي. انهن نشاندهي ڪئي ته جمع ڪرڻ جي شرح کي گهٽائڻ سان ٽرانسميشن وڌي سگهي ٿي ۽ گهٽ درجه حرارت تي پيدا ٿيندڙ فلمن جي مزاحمت گهٽجي سگهي ٿي. نظر ايندڙ روشني جي ٽرانسميشن 92٪ کان وڌيڪ آهي، ۽ مزاحمت 7X10-4Ωcm آهي. انهن 350 ~ 550 ℃ تي ڪمري جي حرارت تي پوکيل ITO فلمن کي اينيل ڪيو، ۽ ڏٺائين ته اينيلنگ جو گرمي پد جيترو وڌيڪ هوندو، ITO فلمن جي ڪرسٽل ملڪيت اوترو ئي بهتر هوندي. 550 ℃ تي اينيلنگ کان پوءِ فلمن جي نظر ايندڙ روشني ٽرانسميشن 93٪ آهي، ۽ اناج جو سائز تقريباً 37nm آهي. پلازما جي مدد سان طريقو فلم جي ٺهڻ دوران سبسٽريٽ جي درجه حرارت کي به گهٽائي سگهي ٿو، جيڪو فلم جي ٺهڻ ۾ سڀ کان اهم عنصر آهي، ۽ ڪرسٽل جي صلاحيت پڻ سڀ کان اهم آهي. پلازما جي مدد سان طريقو فلم جي ٺهڻ دوران سبسٽريٽ جي درجه حرارت کي به گهٽائي سگهي ٿو، ۽ جمع مان حاصل ڪيل ITO فلم جي ڪارڪردگي سٺي آهي. ايس. لاڪس ۽ ٻين پاران تيار ڪيل ITO فلم جي مزاحمت. تمام گهٽ آهي، 5*10-”Ωcm، ۽ 550nm تي روشني جو جذب 5٪ کان گهٽ آهي، ۽ فلم جي مزاحمت ۽ آپٽيڪل بينڊوڊٿ پڻ جمع ٿيڻ دوران آڪسيجن جي دٻاءُ کي تبديل ڪندي تبديل ٿي ويندي آهي.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا