Procesul de acoperire cu ioni ai catodului gol

Procesul de acoperire cu ioni ai catodului gol este următorul:

1. Puneți lingouri de bărbie în colaps.

2. Montarea piesei de prelucrat.

3. După evacuarea la 5×10⁻³Pa, gazul argon este introdus în camera de acoperire din tubul de argint, iar nivelul de vid este de aproximativ 100 Pa.

4. Activați alimentarea pentru polarizare.

5. După pornirea arcului electric, descărcarea catodică gol este generată în tubul buton. Tensiunea de descărcare este de 800~1000V, iar curentul de declanșare a arcului este de 30~50A. Datorită efectului catodic gol al descărcării luminescente, densitatea mare a curentului de descărcare luminescentă este mare. Densitatea mare de ioni de sodiu din tubul de argint bombardează peretele tubului Vantage. Peretele tubului se încălzește rapid odată cu emisia fluxului de electroni. Modul de descărcare de la descărcarea luminescentă se schimbă brusc în descărcare cu arc. Tensiunea este de 40~70V, curentul este de 80~300A. Temperatura tubului de argint depășește 2300K. Incandescentul emite un flux de electroni de arc cu densitate mare din tub și este proiectat către anod.

6. Reglarea nivelului de vid. Nivelul de vid pentru descărcarea luminiscentă de la pistolul cu catod gol este de aproximativ 100 Pa, iar gradul de vid al acoperirii este de 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Prin urmare, după aprinderea descărcării arcului, reduceți cât mai curând posibil argonul gazos care intră și reglați nivelul de vid la un interval adecvat pentru acoperire.

7. Strat de bază placat cu titan. Flux de electroni pe lingoul metalic Chin colapsat anodic, conversia energiei cinetice în energie termică, evaporarea metalului Chin prin încălzire, atomii de vapori ajung la piesa de prelucrat pentru a forma o peliculă de titan.

8. Depunerea de TiN. Azotul gazos este introdus în camera de acoperire. Azotul gazos și atomii evaporați sunt ionizați în ioni de azot și titan. Deasupra creuzetului, există o probabilitate mai mare de coliziuni inelastice ale atomilor de vapori de titan cu fluxuri dense de electroni de energie scăzută. Rata de disociere a metalului este de până la 20% ~ 40%. Ionii de titan sunt mai predispuși să reacționeze chimic cu azotul gazos de reacție. Depunerea se face pentru a obține un strat de peliculă de nitrură. Pistolul catodic gol este atât o sursă de vaporizare, cât și o altă sursă de ionizare. În timpul acoperirii, curentul bobinei electromagnetice din jurul creuzetului trebuie, de asemenea, ajustat. Focalizarea fasciculului de electroni în centrul colapsului asigură creșterea densității de putere a fluxului de electroni.

9. Opriți alimentarea. După ce grosimea peliculei atinge grosimea predeterminată, opriți alimentarea arcului, alimentarea de polarizare și alimentarea cu aer.