O processo de revestimento iônico de cátodo oco é o seguinte:
1、Coloque os lingotes de Chin no colapso.
2、Montagem da peça de trabalho.
3、Após a evacuação para 5×10-3Pa, o gás argônio é introduzido na câmara de revestimento a partir do tubo de prata, e o nível de vácuo fica em torno de 100Pa.
4、Ligue a alimentação de polarização.
5、Após ligar a energia do arco para acender a descarga do cátodo oco. A descarga luminescente é gerada no tubo botão, a tensão de descarga é de 800~1000V, a corrente de elevação do arco é de 30~50A. Devido ao efeito de cátodo oco da descarga luminescente, a alta densidade de corrente de descarga luminescente, a alta densidade de íons de razão no tubo de prata bombardeia a parede do tubo de vantagem, faz com que a parede do tubo aqueça rapidamente para a emissão do fluxo de elétrons, o modo de descarga da descarga luminescente muda repentinamente para descarga de arco, a tensão é de 40~70V, a corrente é de 80~300A. A temperatura do tubo de prata atinge acima de 2300K, incandescente, emite um fluxo de alta densidade de elétrons de arco do tubo e dispara para o ânodo.
6. Ajuste do nível de vácuo. O nível de vácuo para descarga luminescente da pistola de cátodo oco é de cerca de 100 Pa, e o grau de vácuo do revestimento é de 8×10-1~2Pa. Portanto, após a ignição da descarga do arco, reduza o gás argônio de entrada o mais rápido possível e ajuste o nível de vácuo para uma faixa adequada para o revestimento.
7、Camada de base revestida de titânio. Fluxo de elétrons no lingote de metal Chin colapsado anodicamente, Conversão de energia cinética em energia térmica, Evaporação do metal Chin por aquecimento, Átomos de vapor atingem a peça de trabalho para formar um filme de titânio.
8、Deposição de TiN. O gás nitrogênio é fornecido para a câmara de revestimento, o gás nitrogênio e os átomos evaporados são ionizados em íons de nitrogênio e titânio. Acima do cadinho, maior probabilidade de colisões inelásticas de átomos de vapor de titânio com fluxos densos de elétrons de baixa energia, a taxa de dissociação do metal é tão alta quanto 20% ~ 40%. Os íons de titânio são mais propensos a reagir quimicamente com o nitrogênio do gás de reação, a deposição para obter uma camada de filme de manto de nitreto. A pistola de cátodo oco é uma fonte de vaporização, outra fonte de ionização. Durante o revestimento, a corrente da bobina eletromagnética ao redor do cadinho também deve ser ajustada, concentre o feixe de elétrons no centro do colapso, assim, a densidade de potência do fluxo de elétrons é aumentada.
9. Desligue. Após a espessura do filme atingir a espessura predeterminada, desligue a alimentação do arco, a alimentação de polarização e o fornecimento de ar.
Horário da publicação: 08/07/2023