د ایون پوښښماشین د ۱۹۶۰ لسیزې په اوږدو کې د DM Mattox لخوا وړاندیز شوي تیوري څخه سرچینه اخیستې وه، او په هغه وخت کې ورته تجربې پیل شوې وې؛ تر ۱۹۷۱ پورې، چیمبرز او نورو د الکترون بیم ایون پلیټینګ ټیکنالوژي خپره کړه؛ د غبرګون وړ تبخیر پلیټینګ (ARE) ټیکنالوژي په ۱۹۷۲ کې د بنشاه په راپور کې په ګوته شوه، کله چې د TiC او TiN په څیر د سوپر هارډ فلم ډولونه تولید شول؛ همدارنګه په ۱۹۷۲ کې، سمیت او مولي د کوټینګ پروسې کې د خالي کیتوډ ټیکنالوژي غوره کړه. په ۱۹۸۰ لسیزه کې، په چین کې د ایون پلیټینګ بالاخره د صنعتي غوښتنلیک کچې ته رسیدلی و، او د کوټینګ پروسې لکه ویکیوم ملټي آرک ایون پلیټینګ او آرک-ډیسچارج ایون پلیټینګ په پرله پسې ډول څرګند شوي وو.
د ویکیوم ایون پلیټینګ ټوله کاري پروسه په لاندې ډول ده: لومړی،پمپد خلا خونه، او بیاانتظار وکړئد خلا فشار 4X10 ⁻ ³ Pa تهیا غوره، دا اړینه ده چې د لوړ ولتاژ بریښنا رسولو سره وصل شئ او د سبسټریټ او بخارۍ ترمنځ د ټیټ ولتاژ خارجیدونکي ګاز د ټیټ تودوخې پلازما ساحه جوړه کړئ. د سبسټریټ الیکټروډ د 5000V DC منفي لوړ ولتاژ سره وصل کړئ ترڅو د کیتوډ ګلو خارج شي. غیر فعال ګاز ایونونه د منفي ګلو ساحې ته نږدې تولید کیږي. دوی د کیتوډ تیاره ساحې ته ننوځي او د بریښنایی ساحې لخوا ګړندي کیږي او د سبسټریټ سطح بمباري کوي. دا د پاکولو پروسه ده، او بیا د کوټینګ پروسې ته ننوځي. د بمبارۍ تودوخې اغیزې له لارې، ځینې پلیټینګ مواد بخار کیږي. د پلازما ساحه پروټونونو ته ننوځي، د الکترونونو او غیر فعال ګاز ایونونو سره ټکر کوي، او د دوی یوه کوچنۍ برخه آیون کیږي، دا آیون شوي آیونونه د لوړې انرژۍ سره به د فلم سطح بمبار کړي او د فلم کیفیت به تر یوې اندازې پورې ښه کړي.
د ویکیوم ایون پلیټینګ اصل دا دی: په ویکیوم چیمبر کې، د ګاز خارجیدو پدیده یا د بخار شوي موادو د ایون شوي برخې په کارولو سره، د بخار شوي موادو ایونونو یا ګاز ایونونو بمبارۍ لاندې، دا بخار شوي مواد یا د دوی تعامل کونکي په ورته وخت کې په سبسټریټ کې زیرمه کوي ترڅو یو پتلی فلم ترلاسه کړي. د ایون پوښماشیند ویکیوم تبخیر، پلازما ټیکنالوژي او د ګازو د چمک خارجیدل سره یوځای کوي، کوم چې نه یوازې د فلم کیفیت ښه کوي، بلکې د فلم د تطبیق لړۍ هم پراخوي. د دې پروسې ګټې قوي تفاوت، ښه فلم چپکونکی، او مختلف کوټینګ مواد دي. د ایون پلیټینګ اصل لومړی د DM Mattox لخوا وړاندیز شوی و. د ایون پلیټینګ ډیری ډولونه شتون لري. ترټولو عام ډول یې د تبخیر تودوخه ده، پشمول د مقاومت تودوخه، د الکترون بیم تودوخه، د پلازما الکترون بیم تودوخه، د لوړ فریکونسۍ انډکشن تودوخه او د تودوخې نورې طریقې.
د پوسټ وخت: فبروري-۱۴-۲۰۲۳