د خالي کیتوډ ایون پوښ کولو پروسه په لاندې ډول ده:
۱، د زنې انګوټونه په سقوط کې واچوئ.
۲، د کار ټوټې نصب کول.
۳، د 5×10-3Pa ته د وتلو وروسته، ارګون ګاز د سپینو زرو ټیوب څخه د کوټینګ چیمبر ته معرفي کیږي، او د خلا کچه شاوخوا 100Pa ده.
۴، د تعصب ځواک فعال کړئ.
۵، د قوس ځواک فعالولو وروسته د تشې کیتوډ خارجیدو د اور لګیدو لپاره. د تڼۍ ټیوب کې د چمک خارجیدل رامینځته کیږي، د خارجیدو ولتاژ 800~1000V دی، د قوس پورته کولو جریان 30~50A دی. د ګل خارجیدو د تشې کیتوډ اغیزې له امله، د لوړ چمک خارجیدو اوسني کثافت، د سپینو زرو ټیوب کې د موږک ایونونو لوړ کثافت د وینټیج ټیوب دیوال بمبار کوي، د ټیوب دیوال په چټکۍ سره د الکترون جریان اخراج ته ګرموي، د ګل خارجیدو څخه د خارجیدو حالت ناڅاپه د قوس خارجیدو ته بدلیږي، ولتاژ 40~70V دی، جریان 80~300A دی. د سپینو زرو ټیوب تودوخه له 2300K څخه پورته رسیږي، تاپدیپت، د ټیوب څخه د قوس الکترونونو لوړ کثافت جریان خپروي، او انود ته ډزې کوي.
۶، د خلا د کچې تنظیم کول. د خالي کیتوډ ټوپک څخه د ګلو خارجولو لپاره د خلا کچه شاوخوا ۱۰۰ پا ده، او د کوټینګ ویکیوم درجه ۸×۱۰-۱~۲ پا ده. له همدې امله، د آرک خارجولو له اور لګیدو وروسته، ژر تر ژره د راتلوونکي ارګون ګاز کم کړئ، د خلا کچه د کوټینګ لپاره مناسب حد ته تنظیم کړئ.
۷، د ټایټانیوم پلیټ شوی اساس طبقه. د الکترون جریان د انودیک ډول مات شوي چین فلزي انګوټ باندې، د حرکي انرژۍ حرارتي انرژۍ ته بدلول، د تودوخې په واسطه د چین فلز تبخیر، د بخار اتومونه د ورک پیس ته رسیږي ترڅو د ټایټانیوم فلم جوړ کړي.
۸، د TiN زیرمه کول. نایتروجن ګاز د کوټینګ چیمبر ته ورکول کیږي، نایتروجن ګاز او تبخیر شوي اتومونه په نایتروجن او ټایټانیوم ایونونو کې ایونیز کیږي. د کروسیبل څخه پورته، د ټیټ انرژۍ الکترونونو د کثافاتو جریان سره د ټایټانیوم بخار اتومونو د غیر لچک لرونکي ټکرونو لوړ احتمال، د فلزي جلا کولو کچه تر 20٪ ~ 40٪ پورې لوړه ده.، د ټایټانیوم ایونونه د عکس العمل ګاز نایتروجن سره کیمیاوي تعامل کولو احتمال لري، د نایټرایډ مینټل فلم پرت ترلاسه کولو لپاره زیرمه کول. خالي کیتوډ ټوپک دواړه د بخارۍ سرچینه ده، د ایونیزیشن بله سرچینه. د کوټینګ په جریان کې، د کروسیبل شاوخوا د بریښنایی مقناطیسي کویل جریان هم باید تنظیم شي، د بریښنا بیم د سقوط مرکز ته تمرکز وکړئ، پدې توګه، د الکترون جریان د بریښنا کثافت زیاتیږي.
۹، بریښنا بنده کړئ. وروسته له دې چې د فلم ضخامت د فلم ضخامت مخکې ټاکل شوي حد ته ورسیږي، د آرک بریښنا رسولو، تعصب بریښنا رسولو او هوا رسولو بند کړئ.
د پوسټ وخت: جولای-۰۸-۲۰۲۳