انډیم ټین اکسایډ (انډیم ټین اکسایډ، چې د ITO په نوم یادیږي) یو پراخ بانډ تشه ده، په پراخه کچه ډوپ شوی n-ډول سیمیکمډکټر مواد، د لوړ لید وړ رڼا لیږد او ټیټ مقاومت ځانګړتیاوې لري، او پدې توګه په پراخه کچه د لمریز حجرو، فلیټ پینل نندارې، الیکټروکرومیک کړکۍ، غیر عضوي او عضوي پتلي فلم الیکټرولومینیسینس، لیزر ډایډونو او الټرا وایلیټ کشف کونکو او نورو فوتوولټیک وسیلو کې کارول کیږي، او نور. د ITO فلمونو چمتو کولو ډیری میتودونه شتون لري، پشمول د نبض شوي لیزر زیرمه کول، سپټر کول، کیمیاوي بخار زیرمه کول، د سپری حرارتي تخریب، سول جیل، تبخیر، او نور. د تبخیر میتود په مینځ کې، ترټولو عام کارول شوی د الکترون بیم تبخیر دی.
د ITO فلم د چمتو کولو لپاره ډیری لارې شتون لري، پشمول د نبض شوي لیزر جمع کول، سپټرینګ، کیمیاوي بخار جمع کول، سپری پیرولیسس، سول جیل، تبخیر او داسې نور، چې له دې څخه ترټولو عام کارول شوی تبخیر میتود د الکترون بیم تبخیر دی. د ITO فلمونو د تبخیر چمتو کول معمولا دوه لارې لري: یو د غبرګون تبخیر لپاره د اکسیجن فضا کې د سرچینې موادو په توګه د لوړ پاکوالي In، Sn الیاژ کارول دي؛ دوهم د مستقیم تبخیر لپاره د سرچینې موادو په توګه د لوړ پاکوالي In2O3:، SnO2 مخلوط کارول دي. د لوړ لیږد او ټیټ مقاومت سره فلم جوړولو لپاره، عموما د لوړې سبسټریټ تودوخې یا د فلم وروسته انیل کولو اړتیا ته اړتیا وي. HR Fallah او نورو د ITO پتلو فلمونو زیرمه کولو لپاره په ټیټ حرارت کې د الکترون بیم تبخیر میتود کارولی، ترڅو د فلم جوړښت، بریښنایی او نظری ملکیتونو باندې د جمع کولو نرخ، انیل کولو تودوخې او نورو پروسې پیرامیټرو اغیز مطالعه کړي. دوی په ګوته کړه چې د جمع کولو نرخ کمول کولی شي د لیږد کچه لوړه کړي او د ټیټ تودوخې وده شوي فلمونو مقاومت کم کړي. د لیدلو وړ رڼا لیږد له 92٪ څخه ډیر دی، او مقاومت یې 7X10-4Ωcm دی. دوی د خونې په تودوخه کې د 350 ~ 550 ℃ کې کرل شوي ITO فلمونه انیل کړل، او وموندله چې د انیل کولو تودوخه څومره لوړه وي، د ITO فلمونو کرسټالین ملکیت ښه وي. د 550 ℃ کې د انیل کولو وروسته د فلمونو د لیدلو وړ رڼا لیږد 93٪ دی، او د غلو اندازه شاوخوا 37nm ده. د پلازما په مرسته میتود کولی شي د فلم جوړولو پرمهال د سبسټریټ تودوخه هم کمه کړي، کوم چې د فلم په جوړولو کې ترټولو مهم فاکتور دی، او کرسټالینیت هم خورا مهم دی. د پلازما په مرسته میتود کولی شي د فلم جوړولو پرمهال د سبسټریټ تودوخه هم کمه کړي، او د زیرمو څخه ترلاسه شوی ITO فلم ښه فعالیت لري. د S. Laux et al لخوا چمتو شوی د ITO فلم مقاومت. ډېر ټیټ دی، ۵*۱۰-”Ωcm، او په ۵۵۰nm کې د رڼا جذب له ۵٪ څخه کم دی، او د فلم مقاومت او نظري بینډ ویت هم د زیرمه کولو پرمهال د اکسیجن فشار بدلولو سره بدلیږي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: مارچ-۲۳-۲۰۲۴