ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗਮਸ਼ੀਨ 1960 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਵਿੱਚ ਡੀਐਮ ਮੈਟੋਕਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਸਿਧਾਂਤ ਤੋਂ ਉਤਪੰਨ ਹੋਇਆ ਸੀ, ਅਤੇ ਉਸ ਸਮੇਂ ਅਨੁਸਾਰੀ ਪ੍ਰਯੋਗ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋਏ ਸਨ; 1971 ਤੱਕ, ਚੈਂਬਰਜ਼ ਅਤੇ ਹੋਰਾਂ ਨੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤੀ; 1972 ਵਿੱਚ ਬੁਨਸ਼ਾਹ ਰਿਪੋਰਟ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਲੇਟਿੰਗ (ARE) ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵੱਲ ਇਸ਼ਾਰਾ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਜਦੋਂ TiC ਅਤੇ TiN ਵਰਗੀਆਂ ਸੁਪਰ-ਹਾਰਡ ਫਿਲਮ ਕਿਸਮਾਂ ਦਾ ਉਤਪਾਦਨ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ; 1972 ਵਿੱਚ ਵੀ, ਸਮਿਥ ਅਤੇ ਮੌਲੀ ਨੇ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਅਪਣਾਇਆ। 1980 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਤੱਕ, ਚੀਨ ਵਿੱਚ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਉਦਯੋਗਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਦੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚ ਗਈ ਸੀ, ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਮਲਟੀ-ਆਰਕ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਅਤੇ ਆਰਕ-ਡਿਸਚਾਰਜ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਗਾਤਾਰ ਪ੍ਰਗਟ ਹੋਈਆਂ ਸਨ।
ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਪੂਰੀ ਕਾਰਜ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇਸ ਪ੍ਰਕਾਰ ਹੈ: ਪਹਿਲਾਂ,ਪੰਪਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ, ਅਤੇ ਫਿਰਉਡੀਕ ਕਰੋਵੈਕਿਊਮ ਦਬਾਅ 4X10 ⁻ ³ Pa ਤੱਕਜਾਂ ਬਿਹਤਰ, ਉੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਈਵੇਪੋਰੇਟਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਘੱਟ ਵੋਲਟੇਜ ਡਿਸਚਾਰਜ ਗੈਸ ਦਾ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਬਣਾਉਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਕੈਥੋਡ ਦਾ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨੂੰ 5000V DC ਨੈਗੇਟਿਵ ਹਾਈ ਵੋਲਟੇਜ ਨਾਲ ਜੋੜੋ। ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਗਲੋ ਖੇਤਰ ਦੇ ਨੇੜੇ ਅਯੋਗ ਗੈਸ ਆਇਨ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਉਹ ਕੈਥੋਡ ਡਾਰਕ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਇੱਕ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਬੰਬਾਰੀ ਹੀਟਿੰਗ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੁਆਰਾ, ਕੁਝ ਪਲੇਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਪ੍ਰੋਟੋਨਾਂ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਅਯੋਗ ਗੈਸ ਆਇਨਾਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਛੋਟਾ ਜਿਹਾ ਹਿੱਸਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਹ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਆਇਨ ਫਿਲਮ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਨਗੇ ਅਤੇ ਕੁਝ ਹੱਦ ਤੱਕ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਗੇ।
ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਇਹ ਹੈ: ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ, ਗੈਸ ਡਿਸਚਾਰਜ ਵਰਤਾਰੇ ਜਾਂ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥ ਦੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹਿੱਸੇ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥ ਆਇਨਾਂ ਜਾਂ ਗੈਸ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਦੇ ਅਧੀਨ, ਇਹਨਾਂ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਜਾਂ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਕਾਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਕੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗਮਸ਼ੀਨਇਹ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਗੈਸ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਨੂੰ ਜੋੜਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਫਿਲਮ ਦੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਰੇਂਜ ਨੂੰ ਵੀ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਵਿਵਰਤਨ, ਚੰਗੀ ਫਿਲਮ ਅਡੈਸ਼ਨ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ। ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਡੀਐਮ ਮੈਟੋਕਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀਆਂ ਕਈ ਕਿਸਮਾਂ ਹਨ। ਸਭ ਤੋਂ ਆਮ ਕਿਸਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਹੀਟਿੰਗ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੀਟਿੰਗ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਹੀਟਿੰਗ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਹੀਟਿੰਗ, ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਹੋਰ ਹੀਟਿੰਗ ਵਿਧੀਆਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਫਰਵਰੀ-14-2023