ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਆਇਨ ਪਰਤ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇਸ ਪ੍ਰਕਾਰ ਹੈ:

1, ਢਹਿਣ ਵਿੱਚ ਚਿਨ ਦੇ ਇੰਗਟਸ ਪਾਓ।

2, ਵਰਕਪੀਸ ਨੂੰ ਮਾਊਂਟ ਕਰਨਾ।

3, 5×10-3Pa ਤੱਕ ਖਾਲੀ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਿਲਵਰ ਟਿਊਬ ਤੋਂ ਆਰਗਨ ਗੈਸ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ ਲਗਭਗ 100Pa ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

4, ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਚਾਲੂ ਕਰੋ।

5, ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਡਿਸਚਾਰਜ ਨੂੰ ਅੱਗ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਆਰਕ ਪਾਵਰ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ। ਬਟਨ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ 800~1000V ਹੈ, ਆਰਕ-ਰਾਈਜ਼ਿੰਗ ਕਰੰਟ 30~50A ਹੈ। ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੇ ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਉੱਚ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ ਘਣਤਾ, ਸਿਲਵਰ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਚੂਹੇ ਦੇ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਵੈਂਟੇਜ ਟਿਊਬ ਦੀ ਕੰਧ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਟਿਊਬ ਦੀ ਕੰਧ ਨੂੰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੇ ਨਿਕਾਸ ਤੱਕ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਗਰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਤੋਂ ਡਿਸਚਾਰਜ ਮੋਡ ਅਚਾਨਕ ਆਰਕ ਡਿਸਚਾਰਜ ਵਿੱਚ ਬਦਲ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਵੋਲਟੇਜ 40~70V ਹੈ, ਕਰੰਟ 80~300A ਹੈ। ਸਿਲਵਰ ਟਿਊਬ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 2300K ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਇਨਕੈਂਡੇਸੈਂਟ, ਟਿਊਬ ਤੋਂ ਆਰਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਵਾਲੀ ਧਾਰਾ ਛੱਡਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਐਨੋਡ ਵੱਲ ਸ਼ੂਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।

6, ਵੈਕਿਊਮ ਲੈਵਲ ਦਾ ਸਮਾਯੋਜਨ। ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਗਨ ਤੋਂ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਲੈਵਲ ਲਗਭਗ 100 Pa ਹੈ, ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਗਰੀ 8×10-1~2Pa ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਚਾਪ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੇ ਇਗਨੀਸ਼ਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਆਉਣ ਵਾਲੀ ਆਰਗਨ ਗੈਸ ਨੂੰ ਜਿੰਨੀ ਜਲਦੀ ਹੋ ਸਕੇ ਘਟਾਓ, ਵੈਕਿਊਮ ਲੈਵਲ ਨੂੰ ਕੋਟਿੰਗ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ।

7, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਲੇਟਿਡ ਬੇਸ ਲੇਅਰ। ਐਨੋਡਿਕਲੀ ਢਹਿ-ਢੇਰੀ ਹੋਈ ਚਿਨ ਧਾਤ ਦੀ ਪਿੰਜਰੀ ਉੱਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਦਾ ਥਰਮਲ ਊਰਜਾ ਵਿੱਚ ਪਰਿਵਰਤਨ, ਗਰਮ ਕਰਕੇ ਚਿਨ ਧਾਤ ਦਾ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ, ਭਾਫ਼ ਪਰਮਾਣੂ ਇੱਕ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਕਪੀਸ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੇ ਹਨ।

8、TiN ਦਾ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ। ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਗੈਸ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਗੈਸ ਅਤੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਵਿੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਉੱਪਰ, ਘੱਟ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੀਆਂ ਸੰਘਣੀਆਂ ਧਾਰਾਵਾਂ ਵਾਲੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਭਾਫ਼ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੇ ਅਸਥਿਰ ਟਕਰਾਅ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਧਾਤ ਦੇ ਵਿਛੋੜੇ ਦੀ ਦਰ 20%~40% ਤੱਕ ਉੱਚੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਨਾਲ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇੱਕ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਮੈਂਟਲ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ। ਖੋਖਲਾ ਕੈਥੋਡ ਬੰਦੂਕ ਦੋਵੇਂ ਇੱਕ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤ ਹੈ，ਆਇਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਾ ਇੱਕ ਹੋਰ ਸਰੋਤ। ਕੋਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ, ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਕੋਇਲ ਦੇ ਕਰੰਟ ਨੂੰ ਵੀ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਨੂੰ ਢਹਿਣ ਦੇ ਕੇਂਦਰ 'ਤੇ ਫੋਕਸ ਕਰੋ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੀ ਪਾਵਰ ਘਣਤਾ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

9, ਪਾਵਰ ਬੰਦ। ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਪਹਿਲਾਂ ਤੋਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਆਰਕ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਬਿਆਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਅਤੇ ਏਅਰ ਸਪਲਾਈ ਬੰਦ ਕਰ ਦਿਓ।