ଆୟନ ଆବରଣଯନ୍ତ୍ର ୧୯୬୦ ଦଶକରେ DM Mattox ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତାବିତ ତତ୍ତ୍ୱରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୋଇଥିଲା, ଏବଂ ସେହି ସମୟରେ ଅନୁରୂପ ପରୀକ୍ଷଣ ଆରମ୍ଭ ହୋଇଥିଲା; ୧୯୭୧ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଚାମ୍ବର୍ସ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିମ୍ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂର ପ୍ରଯୁକ୍ତି ପ୍ରକାଶ କରିଥିଲେ; ୧୯୭୨ ମସିହାରେ ବନଶାହ ରିପୋର୍ଟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ବାଷ୍ପୀଭବନ ପ୍ଲେଟିଂ (ARE) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ସୂଚିତ କରାଯାଇଥିଲା, ଯେତେବେଳେ TiC ଏବଂ TiN ଭଳି ସୁପର-କଠିନ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରକାର ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଇଥିଲା; ୧୯୭୨ ମସିହାରେ ମଧ୍ୟ, ସ୍ମିଥ ଏବଂ ମୋଲି ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଖୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଗ୍ରହଣ କରିଥିଲେ। ୧୯୮୦ ଦଶକ ସୁଦ୍ଧା, ଚୀନରେ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଶେଷରେ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଥିଲା, ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଏବଂ ଆର୍କ-ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଭଳି ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ଦେଖାଦେଇଥିଲା।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଅଟେ: ପ୍ରଥମେ,ପମ୍ପଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର, ଏବଂ ତାପରେଅପେକ୍ଷା କରନ୍ତୁଶୂନ୍ୟ ଚାପ 4X10 ⁻ ³ Pa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତକିମ୍ବା ଭଲ, ଉଚ୍ଚ ଭୋଲଟେଜ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ସଂଯୋଗ କରିବା ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭବନ ମଧ୍ୟରେ କମ୍ ଭୋଲଟେଜ ନିର୍ଗମନ ଗ୍ୟାସର ଏକ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ଷେତ୍ର ନିର୍ମାଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। କ୍ୟାଥୋଡର ଏକ ଚମକ ନିର୍ଗମନ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ କୁ 5000V DC ନକାରାତ୍ମକ ଉଚ୍ଚ ଭୋଲଟେଜ ସହିତ ସଂଯୋଗ କରନ୍ତୁ। ନକାରାତ୍ମକ ଚମକ କ୍ଷେତ୍ର ନିକଟରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ୍ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ। ସେମାନେ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଅନ୍ଧକାର କ୍ଷେତ୍ରରେ ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତି ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଅନ୍ତି ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରନ୍ତି। ଏହା ଏକ ସଫା ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଏବଂ ତାପରେ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତି। ବୋମାମାଡ଼ ଗରମ କରିବାର ପ୍ରଭାବ ଦ୍ୱାରା, କିଛି ପ୍ଲେଟିଂ ସାମଗ୍ରୀ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହୁଏ। ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରୋଟନ୍ ପ୍ରବେଶ କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ୍ ସହିତ ଧକ୍କା ହୁଏ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ ଏକ ଛୋଟ ଅଂଶ ଆୟନିତ ହୁଏ, ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ସହିତ ଏହି ଆୟନିତ ଆୟନ୍ ଫିଲ୍ମ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରିବ ଏବଂ କିଛି ପରିମାଣରେ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂର ନୀତି ହେଉଛି: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ନିର୍ଗତ ଘଟଣା କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀକୃତ ପଦାର୍ଥର ଆୟନିତ ଅଂଶ ବ୍ୟବହାର କରି, ବାଷ୍ପୀକୃତ ପଦାର୍ଥ ଆୟନ୍ କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ୍ ର ବୋମା ମାଡ଼ରେ, ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପାଇବା ପାଇଁ ଏହି ବାଷ୍ପୀକୃତ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକାରୀମାନଙ୍କୁ ଏକକାଳୀନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରାଯାଏ। ଆୟନ୍ ଆବରଣ।ଯନ୍ତ୍ରଏହା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ, ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜକୁ ମିଶ୍ରଣ କରେ, ଯାହା କେବଳ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ଫିଲ୍ମର ପ୍ରୟୋଗ ପରିସରକୁ ମଧ୍ୟ ବିସ୍ତାର କରେ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସୁବିଧା ହେଉଛି ଶକ୍ତିଶାଳୀ ବିବର୍ତ୍ତନ, ଭଲ ଫିଲ୍ମ ଆଡ୍ଜେସନ୍ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ। ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂର ନୀତି ପ୍ରଥମେ DM ମ୍ୟାଟୋକ୍ସ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତାବିତ କରାଯାଇଥିଲା। ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ ଅଛି। ସବୁଠାରୁ ସାଧାରଣ ପ୍ରକାର ହେଉଛି ବାଷ୍ପୀଭବନ ଗରମ, ଯେଉଁଥିରେ ପ୍ରତିରୋଧ ଗରମ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ଗରମ, ପ୍ଲାଜମା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ଗରମ, ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ପ୍ରେରଣା ଗରମ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗରମ ପଦ୍ଧତି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଫେବୃଆରୀ-୧୪-୨୦୨୩