ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା

ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଅଟେ:

୧, ଚିନ୍ ଇଙ୍ଗଟ୍ସକୁ ଧ୍ୱଂସ ସ୍ଥାନରେ ରଖନ୍ତୁ।

2, ୱର୍କପିସ୍ ମାଉଣ୍ଟ କରିବା।

3, 5×10-3Pa ରେ ଖାଲି ହେବା ପରେ, ରୂପା ଟ୍ୟୁବ୍ ରୁ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ, ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ପ୍ରାୟ 100Pa ହୋଇଥାଏ।

4, ବାୟାସ୍ ପାୱାର ଚାଲୁ କରନ୍ତୁ।

5、ହୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଡିସଚାର୍ଜକୁ ପ୍ରଜ୍ୱଳିତ କରିବା ପାଇଁ ଆର୍କ ପାୱାରକୁ ଚାଲୁ କରିବା ପରେ। ବଟନ୍ ଟ୍ୟୁବ୍‌ରେ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଡିସଚାର୍ଜ ଭୋଲଟେଜ୍ 800~1000V, ଆର୍କ-ରେଇଜିଂ କରେଣ୍ଟ 30~50A। ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜର ଖୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ପ୍ରଭାବ ଯୋଗୁଁ, ଉଚ୍ଚ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ ଘନତା, ରୂପା ଟ୍ୟୁବ୍‌ରେ ରାଟ୍ ଆୟନ୍‌ଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚ ଘନତା ଭାଣ୍ଟେଜ୍ ଟ୍ୟୁବ୍‌ର କାନ୍ଥକୁ ବୋମା ମାଡ଼ କରେ, ଟ୍ୟୁବ୍‌ କାନ୍ଥକୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ପ୍ରବାହ ନିର୍ଗମନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଦ୍ରୁତଗତିରେ ଉଷ୍ମ କରାଏ, ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜରୁ ଡିସଚାର୍ଜ ମୋଡ୍ ହଠାତ୍ ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଭୋଲଟେଜ୍ 40~70V, କରେଣ୍ଟ 80~300A। ରୂପା ଟ୍ୟୁବ୍‌ର ତାପମାତ୍ରା 2300K ଉପରେ ପହଞ୍ଚିଥାଏ, ଇନ୍କାଣ୍ଡେସେଣ୍ଟ, ଟ୍ୟୁବ୍‌ରୁ ଆର୍କ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍‌ଗୁଡ଼ିକର ଏକ ଉଚ୍ଚ ଘନତା ପ୍ରବାହ ନିର୍ଗତ କରେ, ଏବଂ ଆନୋଡ୍‌କୁ ସଟ୍ କରେ।

6, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରର ସମାୟୋଜନ। ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ବନ୍ଧୁକରୁ ଚମକ ନିର୍ଗତ ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ପ୍ରାୟ 100 Pa, ଏବଂ ଆବରଣର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀ 8×10-1~2Pa। ତେଣୁ, ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜର ପ୍ରଜ୍ବଳନ ପରେ, ଆସୁଥିବା ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସକୁ ଯଥାଶୀଘ୍ର ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରକୁ ଆବରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ପରିସରକୁ ସମାୟୋଜନ କରନ୍ତୁ।

7、ଟାଇଟାନିୟମ୍ ପ୍ଲେଟେଡ୍ ବେସ୍ ସ୍ତର। ଆନୋଡିକ୍ ଭାବରେ ଭାଙ୍ଗିଯାଇଥିବା ଚିନ୍ ଧାତୁ ଇନଗଟ୍ ଉପରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ପ୍ରବାହ, ଗତିଜ ଶକ୍ତିର ତାପଜ ଶକ୍ତିରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ, ଗରମ କରି ଚିନ୍ ଧାତୁର ବାଷ୍ପୀଭବନ, ବାଷ୍ପ ପରମାଣୁ ୱର୍କପିସ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚି ଏକ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରେ।

8、TiN ର ଜମା। ଆବରଣ ଚାମ୍ବରକୁ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଗ୍ୟାସ ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଏ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଗ୍ୟାସ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନରେ ଆୟନକୃତ କରାଯାଏ। କ୍ରୁସିବଲ ଉପରେ, କମ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ର ଘନ ପ୍ରବାହ ସହିତ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ବାଷ୍ପ ପରମାଣୁର ଅସ୍ଥାୟୀ ଧକ୍କାର ସମ୍ଭାବନା ଅଧିକ, ଧାତୁ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାର 20% ~ 40% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ।, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ସହିତ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବାର ସମ୍ଭାବନା ଅଧିକ, ଏକ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ମାଣ୍ଟଲ୍ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ପାଇବା ପାଇଁ ଜମା। ଖୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ବନ୍ଧୁକ ଉଭୟ ଏକ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଉତ୍ସ, ଆୟନାକରଣର ଅନ୍ୟ ଏକ ଉତ୍ସ। ଆବରଣ ସମୟରେ, କ୍ରୁସିବଲ ଚାରିପାଖରେ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ କଏଲର କରେଣ୍ଟକୁ ମଧ୍ୟ ସଜାଡ଼ିବା ଉଚିତ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ କୁ ଧ୍ୱଂସର କେନ୍ଦ୍ରରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଅନ୍ତୁ, ଏହିପରି, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହର ଶକ୍ତି ଘନତ୍ୱ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ।

୯,ପାୱାର ବନ୍ଦ।ଫିଲ୍ମ ଘନତା ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ଫିଲ୍ମ ଘନତାରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ,ଆର୍କ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ,ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଏବଂ ବାୟୁ ସପ୍ଲାଏ ବନ୍ଦ କରନ୍ତୁ।