ଇଣ୍ଡିୟମ୍ ଟିନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ (ଇଣ୍ଡିୟମ୍ ଟିନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍, ଯାହାକୁ ITO କୁହାଯାଏ) ଏକ ବିସ୍ତୃତ ବ୍ୟାଣ୍ଡ ଗ୍ୟାପ୍, ଅତ୍ୟଧିକ ଡୋପ୍ ହୋଇଥିବା n-ଟାଇପ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ, ଯାହାର ଦୃଶ୍ୟମାନ ଆଲୋକ ପରିବହନ ଏବଂ କମ୍ ପ୍ରତିରୋଧୀତା ଗୁଣ ଅଛି, ଏବଂ ତେଣୁ ସୌର କୋଷ, ଫ୍ଲାଟ୍ ପ୍ୟାନେଲ୍ ଡିସପ୍ଲେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋକ୍ରୋମିକ୍ ୱିଣ୍ଡୋ, ଅଜୈବ ଏବଂ ଜୈବିକ ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଲୁମିନେସେନ୍ସ, ଲେଜର ଡାୟୋଡ୍ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଡିଟେକ୍ଟର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ଡିଭାଇସ୍ ଇତ୍ୟାଦିରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ITO ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତିର ଅନେକ ପଦ୍ଧତି ଅଛି, ଯେଉଁଥିରେ ପଲ୍ସଡ୍ ଲେଜର ଡିପୋଜିସନ୍, ସ୍ପଟରିଂ, ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଡିପୋଜିସନ୍, ସ୍ପ୍ରେ ଥର୍ମାଲ୍ ଡିପୋଜିସନ୍, ସୋଲ୍-ଜେଲ୍, ବାଷ୍ପୀକରଣ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ବାଷ୍ପୀକରଣ ପଦ୍ଧତି ମଧ୍ୟରେ, ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଛି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ।
ITO ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାର ଅନେକ ଉପାୟ ଅଛି, ଯେଉଁଥିରେ ପଲ୍ସଡ୍ ଲେଜର ଡିପୋଜିସନ୍, ସ୍ପଟରିଂ, ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଡିପୋଜିସନ୍, ସ୍ପ୍ରେ ପାଇରୋଲିସିସ୍, ସୋଲ୍-ଜେଲ୍, ବାଷ୍ପୀକରଣ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯେଉଁଥିରୁ ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପଦ୍ଧତି ହେଉଛି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ। ITO ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ବାଷ୍ପୀକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ସାଧାରଣତଃ ଦୁଇଟି ଉପାୟ ଥାଏ: ଗୋଟିଏ ହେଉଛି ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବାଷ୍ପୀକରଣ ପାଇଁ ଅମ୍ଳଜାନ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ଉତ୍ସ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା In, Sn ମିଶ୍ରଣ ବ୍ୟବହାର; ଦ୍ୱିତୀୟଟି ହେଉଛି ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପାଇଁ ଉତ୍ସ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା In2O3:, SnO2 ମିଶ୍ରଣ ବ୍ୟବହାର। ଉଚ୍ଚ ପରିବହନ ଏବଂ କମ୍ ପ୍ରତିରୋଧକତା ସହିତ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରିବା ପାଇଁ, ସାଧାରଣତଃ ଏକ ଉଚ୍ଚ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଫିଲ୍ମର ପରବର୍ତ୍ତୀ ଆନିଲିଂ ଆବଶ୍ୟକ। HR ଫଲ୍ଲାହ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ ITO ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ କମ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରିଥିଲେ, ଫିଲ୍ମର ଗଠନ, ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଧର୍ମ ଉପରେ ଜମା ହାର, ଆନିଲିଂ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରର ପ୍ରଭାବ ଅଧ୍ୟୟନ କରିବା ପାଇଁ। ସେମାନେ ଦର୍ଶାଇଥିଲେ ଯେ ଜମା ହାରକୁ କମ କରିବା ଦ୍ଵାରା ପରିବହନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇପାରେ ଏବଂ କମ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ବଢ଼ୁଥିବା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରତିରୋଧକତା ହ୍ରାସ ପାଇପାରେ। ଦୃଶ୍ୟମାନ ଆଲୋକର ପରିବହନ 92% ରୁ ଅଧିକ, ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧକତା 7X10-4Ωcm। ସେମାନେ 350 ~ 550 ℃ ରେ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ବଢ଼ିଥିବା ITO ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ଆନିଲ୍ କରିଥିଲେ, ଏବଂ ଦେଖିଥିଲେ ଯେ ଆନିଲିଂ ତାପମାତ୍ରା ଯେତେ ଅଧିକ ହେବ, ITO ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ସ୍ଫଟିକୀୟ ଗୁଣ ସେତେ ଭଲ ହେବ। 550 ℃ ରେ ଆନିଲିଂ ପରେ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଦୃଶ୍ୟମାନ ଆଲୋକ ପରିବହନ 93%, ଏବଂ ଶସ୍ୟ ଆକାର ପ୍ରାୟ 37nm। ପ୍ଲାଜ୍ମା-ସହାୟତା ପଦ୍ଧତି ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାକୁ ମଧ୍ୟ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଯାହା ଫିଲ୍ମ ଗଠନରେ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ, ଏବଂ ସ୍ଫଟିକତା ମଧ୍ୟ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ପ୍ଲାଜ୍ମା-ସହାୟତା ପଦ୍ଧତି ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାକୁ ମଧ୍ୟ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଜମାରୁ ପ୍ରାପ୍ତ ITO ଫିଲ୍ମର ଭଲ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଅଛି। S. Laux et al ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ ITO ଫିଲ୍ମର ପ୍ରତିରୋଧକତା। ବହୁତ କମ୍, 5*10-”Ωcm, ଏବଂ 550nm ରେ ଆଲୋକର ଶୋଷଣ 5% ରୁ କମ୍, ଏବଂ ଜମା ସମୟରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଚାପ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି ଫିଲ୍ମର ପ୍ରତିରୋଧକତା ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡୱିଡଥ୍ ମଧ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୨୩-୨୦୨୪